雷射光學尺

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Renishaw RLD10 X3 DI 差分干涉儀 干涉儀光學尺實現了線性位置回饋的至高精度。 Renishaw 是單頻鐳射干涉儀領域的領導者,在機器計量應用和系統技術方面擁有近 25 年的經驗。

HS10 長距離鐳射編碼器自 1994 年來一直用於高達 60 米的軸線量測。從 2001 年起,RLE 鐳射編碼器系列加入其中,該產品使用獨特、已獲專利的「遠程」鐳射光源和光纖連結頭。 該系統可定期升級並新增了可選的鐳射光源、干涉儀配置和即時正交補償以及各種信號介面。 現在,全球眾多的半導體加工機以及許多其他短距離應用(小於 4 米)製造商均在使用 RLE 系統,其特徵和功能可為他們帶來先前無法實現的干涉量測優勢。

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