差分干涉儀

RLD10-X3-DI 差分干涉儀檢測頭能夠量測固定的參考鏡與移動的量測鏡之間的相對位移。RLD10-X3-DI 檢測頭尤其適合真空和可控環境應用，可透過一個簡單的三針固定架安裝在製程室的外牆上。檢測頭無需進入製程室即可校正，內置雷射準直輔助鏡可對參考和量測光束的俯仰和偏角進行獨立的調整，安裝系統的設計允許拆卸檢測頭和調整檢測頭位置，對系統準直的影響極小。

規格

上述數值是以使用 RLD10-X3-DI 頭和 RLU20 雷射裝置為依據

特性和優點

• 出眾的度量衡性能
  ppb 級頻率穩定性，超低周期誤差，輸出解析度達到 38.6 pm。
• 差分配置
  量測工作臺與柱之間或工件與刀具之間的相對位置並消除常見模式誤差，例如與環境波動有關的製程室側壁移動。
• 快速調節準直
  採用四個內置雷射準直輔助鏡，很簡單地在製程室外部進行準直調整（對參考和量測光束進行 ±1°俯仰和偏角調整），達到消除製程室和鏡子安裝公差。

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