雷射干涉儀系統
這些系統採用安裝在外部的分光鏡,量測具有至高的精度、重現性和可追溯性。 有兩款 Renishaw 鐳射系統在全世界得到應用,一款是 XL-80(自 2007 年開始生產),另一款是被它取代的 ML10(1988 至 2007 年)。 瀏覽
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