運動平台在真空環境中的應用 藉由超高真空(UHV)光學尺提升穩定性 (docx)

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在工業界有不少製程需要在真空環境下進行,許多高精密產品在製造過程中也必需使用不同程度的真空技術,產品最後在大氣環境下使用。典型應用包括顯示面板中薄膜和基板之間的精密貼合製程、半導體製程中的薄膜濺鍍、晶圓檢測等等,任何相關的零組件都必須滿足真空環境的要求。 韓國運動平台製造商 VAD Instrument(以下簡稱 VAD)為了滿足其精密製程設備對真空規格的嚴格要求,採用 Renishaw TONiC 系列超高真空 (UHV) 光學尺系統,藉此提升平台的整體精度和穩定性。

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