跳轉瀏覽

雷射編碼器應用

光纖雷射編碼器-半導體

應用詳細資訊

半導體產業向來以快速轉變的開發週期聞名,以生產更小、更快且成本更低的晶片。達成以上目標的要素之一就是提供高效製程,並維持絕佳品質。

半導體產業廣泛使用雷射編碼器系統協助達成以上目標,針對關鍵製造和檢測程序提供最佳精確度。

應用優勢

主要需求Renishaw 解決方案
奈米級精確度RLD10-X3-DI 差分干涉儀檢測頭可在圓柱和工作台或真空應用之間直接量測。
次奈米可重複性Renishaw RLU20 具備絕佳雷射頻率穩定性,提供最佳的真空應用可重複性。
皮米解析度

Renishaw RPI20 能夠以 36 平行位元格式實現高達 38.6 pm 的解析度。

經驗

雷射編碼器或位移干涉儀系統已於半導體產業使用多年時間。Renishaw 自 2005 年起即提供半導體 OEM 雷射編碼器解決方案,在半導體產業之中協作及支援設備製造商,備受各界肯定。




RLD10 差分干涉儀檢測頭,Raith 應用

光纖雷射編碼器-同步加速器

應用詳細資訊

同步加速器是科學研究中用來實施各種實驗的特定類型粒子加速器。各項實驗本身皆具備獨一無二的挑戰,例如高精準度運動控制系統、震動分析或漂移量測,會依據需求使用雷射編碼器或位移感應器。

應用優勢

主要需求Renishaw 解決方案
輕鬆對齊和安裝Renishaw 的 RLD 透過光束對焦光學鏡組安裝,結合光纖雷射裝置後可更方便系統安裝與對齊。
高更新率RSU10 USB 介面可達到最大 50 kHz 的更新率,並可利用免費 SDK 搭配 Renishaw 標準軟體套件或客製解決方案使用。
知識分享及工作合作關係瞭解和定義需測量的內容往往是首要挑戰,Renishaw 在培養與客戶的工作合作關係方面具有豐富經驗,致力提供最佳解決方案。

經驗

世界各地都有同步加速器,並分為各種不同尺寸。Renishaw 有機會與各家機構合作開發實際可行的解決方案,通常能夠超越初始需求。

RLE Isara 應用

光纖雷射編碼器-XY 雙軸平台

應用詳細資訊

XY 雙軸平台廣泛用於各種應用之中,範圍包括大量製造到測試及研究設備。XY 雙軸平台通常會遭受阿貝誤差的影響,這些平台內的射束角誤差會導致平台頂端出現大量定位誤差。使用干涉儀編碼器系統與測量興趣點,即可消除這些誤差來源的影響。

應用優勢

主要需求Renishaw 解決方案
消除阿貝或平台誤差Renishaw 的 RLE 系統及其小型檢測頭可輕易安裝在平台附近,確保輕鬆在興趣點直接量測。
遠端熱源雷射來源通常會產生大量的熱。Renishaw 配備的光纖架構傳輸功能可讓雷射裝置 (RLU) 安裝在離工作區 3m 或 6m 處,因此能防止局部過熱。
輕鬆整合與設定干涉儀架構系統通常難以整合與設定。Renishaw 開發含小型干涉儀與偵測計畫的光纖架構解決方案,結合干涉儀編碼器的量測效能,以及一般光學編碼器常見的安裝便利性。

經驗

Renishaw 具備 20 年以上的豐富經驗,將干涉儀架構編碼器解決方案整合至廣泛應用,範圍包括 CNC 加工廠的惡劣環境到半導體業的嚴苛效能要求。

我們與眾多 OEM 及平台建置商攜手合作,發展密切的合作關係,持續累積寶貴經驗,協助整合干涉儀編碼器至新一代產品,持續推動技術向前發展。

XY 雙軸平台上的 RLE 系統


影像由 Aerotech 提供。

長距離雷射編碼器-航太

應用詳細資訊

推動航太產業發展的動力,就是讓最大範圍的零件達到嚴格公差;雷射干涉架構編碼器解決方案可實現此項目標。大型 CNC 工具機通常用於翼樑或飛機機身,較長的機器軸長度通常需達 30 m 以上,Renishaw 的 HS20 系統結合 RCU10 補償器,可在 30 m 的軸上達到 ±30 µm 的精確度。


應用優勢

主要需求Renishaw 解決方案
惡劣環境中的長距離量測Renishaw HS20 雷射頭可量測的距離長達 60 m。HS20 擁有在最嚴苛環境中提供可靠運作的實證記錄,亦保有身為此領域市場龍頭的地位。
非接觸式量測系統運用直接量測消除在支架和小齒輪或滾珠螺桿回饋系統中發現的誤差,例如遲滯、反向、機械磨損及週期誤差。
工件與機器結構補償RCU10 補償系統包含設計用於熱膨脹及機器結構與工件收縮的整合式模組,因此能在冗長的加工週期中維持精確度。

經驗

Renishaw 與全球航太產業製造商及大型 CNC 工具機建置商合作,目前安裝及使用的雷射干涉儀系統數量居高不下。

機器上使用的這些干涉儀架構系統皆用於加工飛機規格合金材料,乃至於今日現代飛機使用的碳纖維複合材料。以上所有應用均要求在最大範圍的零件達到最嚴格公差,Renishaw 的干涉儀架構編碼器系統可輕鬆達到此目標。

HS20 應用

長距離雷射編碼器-CMM

應用詳細資訊

三次元量床 (CMM) 一般使用光學編碼器,不過對需要精準與可重複效能的大型 CMM 而言,雷射干涉編碼器在此市場成為越來越多客戶的首選。

CMM 通常採用門型架構設計,此門型在大型 CMM 產生的歪斜誤差會導致大量定位誤差。不過使用門型頂端的干涉儀編碼器則可消除歪斜誤差。

應用優勢

主要需求Renishaw 解決方案
長距離量測Renishaw 的雷射編碼器選項可搭配 HS20,實現高達 60 m 的長距離量測,而搭配 RLE 則可達到 4 m。
興趣點雷射干涉編碼器系統的主要優勢是能輕鬆測量興趣點。
輕鬆安裝與對齊Renishaw 系統使用可視光源,在結合雷射來源的簡易 0 至 1V 輸出時可維護訊號強度,並確保輕鬆安裝和對齊。

經驗

Renishaw 與 OEM 合作發展多項關係,提供的配置可實現客戶指定的量測效能。瞭解機器的量測框架是開發正確解決方案的關鍵。

CMM 檢測圖像

長距離雷射編碼器-LCD

應用詳細資訊

隨著 LCD 產業技術不斷革新,用於製造和檢測產品的機器也持續推陳出新。機器上具小型特徵的大尺寸螢幕,擁有更高的量測系統效能。雷射編碼器提供能符合這些需求的解決方案

應用優勢

主要需求Renishaw 解決方案
興趣點在大型 XY 雙軸平台應用中,固有的阿貝誤差會影響機器的精準度。Renishaw 的雷射編碼器解決方案可直接量測興趣點。
類似產業中經實證的技術半導體產業多年來採用 Renishaw 雷射編碼器解決方案,即使在連續使用多年後,這些方案不僅證明可靠,也具備與新方案相同水準的效能。
高效量測158 或 316 nm 雷射干涉編碼器的類比訊號週期可傳輸細分的皮米解析度。

經驗

Renishaw 與 OEM 及平台建置商合作獲得的經驗,有助於盡可能減少整合時間。我們利用在這些不同應用中獲取的經驗與知識,快速找出最適合您應用項目的干涉儀編碼器系統。

LCD 檢測 (蓋帝圖像)