鏡面與光學鏡組
Renishaw 提供許多光學鏡組與平面鏡光學鏡組，針對特定應用提供解決方案。
平面鏡
Renishaw 所供應的平面鏡是由低熱膨脹係數的玻璃基質製作而成，具有硬質氧化物電介質塗層。
特性和優點
- 熱穩定性－由低熱膨脹係數的基質製作而成，可將因環境變化產生的誤差降到最低。
- 高反射率－高反射率的鏡面 (>97%)，可獲得極致性能。
- 易於安裝－Renishaw 鏡面固定架為易於設定與準直的解決方案。
尺寸
| 剖面 | 25 mm x 25 mm |
| 光學孔徑 | 60 mm 至 380 mm（每次增加 10 mm） |
規格
| 局部平坦度 | 區域寬度 12 mm x 高度 7 mm (λ = 633 nm) < λ/10 |
| 整體平坦度 | 每 100 mm < λ/10，每 500 mm < 0.5 µm |
| 交叉極化 | < 0.5% |
| 反射性 | > 97% 的入射光束 |
| 材料 | 低熱膨脹玻璃 |
由於客製化配置與尺寸的原因，平面鏡僅限特別訂製，可能需要較長的前置時間，並有最低訂購數量限制。或者您可根據頁面底部規格資料表所列規格在當地採買。
鏡面固定架
為了固定鏡組並正確對準運動系統，Renishaw 也可提供搭配使用鏡組的調整式固定架，適用於長度最長 350 mm 及剖面 25 mm x 25 mm 的鏡面。
這些固定架提供最多 ±2.5° 的偏擺角調整與 ±1° 的俯仰角調整。（實際調整範圍視鏡面長度而定）。
特性和優點
- 易於準直－內建偏擺角與前後傾角調整，可加速鏡組準直流程進行。
- 穩定安裝－為鏡面提供穩定的根基，同時視需要進行熱膨脹。
- 不會受到限制－僅以兩個面夾住鏡面，故可減少鏡面所受到的應力，以期在安裝後將鏡面彎曲的風險降到最低。
Renishaw 所供應的鏡面固定架不具備真空相容特性。
39 mm 真空室窗戶
Renishaw RLE 光纖雷射編碼器使用干涉量測法提供高解析度的線性回饋。
差分干涉儀檢測頭 (RLD10-X3-DI) 可安裝在真空室牆壁上。真空室窗戶允許雷射光束穿越檢測頭與量測鏡之間。真空室窗戶也可在需要使用 RLD 進行量測的真空室內部，搭配使用其他干涉儀檢測頭版本，例如 RVI20 真空相容干涉儀。
儘管 Renishaw 未製造真空室窗戶，但採購客製規格的 39 mm 真空室窗戶，發揮 RLE 系統的最大效能。
安裝建議
Renishaw 建議在安裝製程室牆壁內的製程室窗戶時執行下列項目。
- 窗戶安裝張力不得偏低，否則會造成窗戶變形且光束偏離標稱值。
- 至少需有一側的製程室窗戶需使用 O 形環，以形成及維持真空室牆壁的密封狀態。
15 mm DI 觀測鏡組
觀測鏡組增加 RLD10-X3-DI 差分干涉儀量檢測頭的量測，與參考光束之間的偏置。
鏡組利用兩面鏡子增加 15 mm 的偏置，以產生 29 mm 的總間距（標準 RLD10-X3-DI 的偏置為 14 mm）。
特性和優點
- 增加偏置－量測與參考光束之間的偏置，允許另外增加 15 mm。
- 高反射率－運用高反射率的鏡面，將量測與參考光束之間的信號強度落差降到最低。
- 標準安裝－觀測鏡組維持標準的 DI 檢測頭安裝。
RVI20 真空相容干涉儀
RVI20 是一套用於平面鏡的真空相容干涉儀組，與 Renishaw RLD10-A3-XX 檢測頭搭配使用，使整體量測路徑維持在真空環境中。
RVI20 安裝在真空製程室中，雷射光束從 RLD10-A3-XX 檢測頭穿過製程室窗戶進入 RVI20，接著再投射於平面鏡上。
特性和優點
- 相對量測－可在機器的兩個工件（如刀具與工件）之間進行相對量測。
- 真空相容性－相容於高度真空應用，且適合安裝於真空製程室內。
- 高品質光學鏡組－RVI20 包含一般用於 RLD 檢測頭內，使用的 Renishaw 高品質干涉儀光學鏡組。
RVI20 是為了雷射編碼器應用而開發，其量測路徑必須維持在真空環境中。
產品資訊
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