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鏡面與光學鏡組

Renishaw 提供許多光學鏡組與平面鏡光學鏡組,針對特定應用提供解決方案。

平面鏡

配備安裝固定件的平面鏡

Renishaw 所供應的平面鏡是由低熱膨脹係數的玻璃基質製作而成,具有硬質氧化物電介質塗層。

特性和優點

  • 熱穩定性-由低熱膨脹係數的基質製作而成,可將因環境變化產生的誤差降到最低。
  • 高反射率-高反射率的鏡面 (>97%),可獲得極致性能。
  • 易於安裝-Renishaw 鏡面固定架為易於設定與準直的解決方案。

尺寸

剖面25 mm x 25 mm
光學孔徑60 mm 至 380 mm(每次增加 10 mm)

規格

 局部平坦度 區域寬度 12 mm x 高度 7 mm (λ = 633 nm) < λ/10
 整體平坦度 每 100 mm < λ/10,每 500 mm < 0.5 µm
 交叉極化 < 0.5%
 反射性 > 97% 的入射光束
 材料 低熱膨脹玻璃

由於客製化配置與尺寸的原因,平面鏡僅限特別訂製,可能需要較長的前置時間,並有最低訂購數量限制。或者您可根據頁面底部規格資料表所列規格在當地採買。 

鏡面固定架

Renishaw RAM10 鏡面固定架

為了固定鏡組並正確對準運動系統,Renishaw 也可提供搭配使用鏡組的調整式固定架,適用於長度最長 350 mm 及剖面 25 mm x 25 mm 的鏡面。

這些固定架提供最多 ±2.5° 的偏擺角調整與 ±1° 的俯仰角調整。(實際調整範圍視鏡面長度而定)。

特性和優點

  • 易於準直-內建偏擺角與前後傾角調整,可加速鏡組準直流程進行。
  • 穩定安裝-為鏡面提供穩定的根基,同時視需要進行熱膨脹。
  • 不會受到限制-僅以兩個面夾住鏡面,故可減少鏡面所受到的應力,以期在安裝後將鏡面彎曲的風險降到最低。

Renishaw 所供應的鏡面固定架不具備真空相容特性。 

39 mm 真空室窗戶

39 mm 真空室窗戶

Renishaw RLE 光纖雷射編碼器使用干涉量測法提供高解析度的線性回饋。

差分干涉儀檢測頭 (RLD10-X3-DI) 可安裝在真空室牆壁上。真空室窗戶允許雷射光束穿越檢測頭與量測鏡之間。真空室窗戶也可在需要使用 RLD 進行量測的真空室內部,搭配使用其他干涉儀檢測頭版本,例如 RVI20 真空相容干涉儀。

儘管 Renishaw 未製造真空室窗戶,但採購客製規格的 39 mm 真空室窗戶,發揮 RLE 系統的最大效能。

安裝建議

Renishaw 建議在安裝製程室牆壁內的製程室窗戶時執行下列項目。

  • 窗戶安裝張力不得偏低,否則會造成窗戶變形且光束偏離標稱值。
  • 至少需有一側的製程室窗戶需使用 O 形環,以形成及維持真空室牆壁的密封狀態。

15 mm DI 觀測鏡組

15 mm DI 觀測鏡組

觀測鏡組增加 RLD10-X3-DI 差分干涉儀量檢測頭的量測,與參考光束之間的偏置。

鏡組利用兩面鏡子增加 15 mm 的偏置,以產生 29 mm 的總間距(標準 RLD10-X3-DI 的偏置為 14 mm)。 

特性和優點

  • 增加偏置-量測與參考光束之間的偏置,允許另外增加 15 mm。
  • 高反射率-運用高反射率的鏡面,將量測與參考光束之間的信號強度落差降到最低。
  • 標準安裝-觀測鏡組維持標準的 DI 檢測頭安裝。 

RVI20 真空相容干涉儀

RVI20 真空相容干涉儀

RVI20 是一套用於平面鏡的真空相容干涉儀組,與 Renishaw RLD10-A3-XX 檢測頭搭配使用,使整體量測路徑維持在真空環境中。

RVI20 安裝在真空製程室中,雷射光束從 RLD10-A3-XX 檢測頭穿過製程室窗戶進入 RVI20,接著再投射於平面鏡上。

特性和優點

RVI20 真空相容干涉儀
  • 相對量測-可在機器的兩個工件(如刀具與工件)之間進行相對量測。
  • 真空相容性-相容於高度真空應用,且適合安裝於真空製程室內。
  • 高品質光學鏡組-RVI20 包含一般用於 RLD 檢測頭內,使用的 Renishaw 高品質干涉儀光學鏡組。

RVI20 是為了雷射編碼器應用而開發,其量測路徑必須維持在真空環境中。

產品資訊