光學尺系列

線性光學尺

光學尺名稱

精度

光學尺柵距

熱膨脹係數（20 °C 時）

供應長度

讀頭相容性

RTLF

20 μm：±5 μm/m

40 μm（高精度）：±5 µm/m
40 μm：±15 μm/m

20 µm/40 µm

10.1 ±0.2 µm/m/°C

長達 10 m (可依要求大於 10 m)

光學尺名稱	精度	光學尺柵距	熱膨脹係數（20 °C 時）	供應長度	讀頭相容性
RTLC 與選購的 FASTRACK	20 μm：±5 μm/m 40 μm（高精度）：±5 µm/m 40 μm：±15 μm/m	20 µm/40 µm	10.1 ±0.2 µm/m/°C	長達 10 m（可依要求大於 10 m）	VIONiC、QUANTiC、TONiC、TONiC UHV
RTLA 與選購的 FASTRACK	30 μm：±5 µm/m 50 μm：±10 µm/m	30 µm/50 µm	10.1 ±0.2 µm/m/°C	RESOLUTE：長達 21 m EVOLUTE：長達 10.02 m	RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS（無 FASTRACK）、EVOLUTE
RTLR40 與選購的 FASTRACK	±15 µm/m	40 µm	10.1 ±0.2 µm/m/°C	最長達 10 m	RGH45

光學尺名稱

精度

光學尺柵距

熱膨脹係數

供應長度

讀頭相容性

RKLC-S

20 μm：±5 μm/m

40 μm（高精度）：±5 µm/m

40 μm：±15 μm/m

20 µm/40 µm

以端蓋固定光學尺尾端時，能符合基板材質

長達 20 m（可依要求大於 20 m）

光學尺名稱	精度	光學尺柵距	熱膨脹係數（20 °C 時）	供應長度	讀頭相容性
RELM20/RELE20	±1 µm 用於最多 1 m，則 ±1 µm/m	20 µm	0.75 ±0.35 µm/m/°C	最長達 1.5 m	VIONiC、TONiC、TONiC UHV
RELA30	±1 µm 用於最多 1 m，則 ±1 µm/m	30 µm	0.75 ±0.35 µm/m/°C	最長達 1.5 m	RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS

光學尺名稱	精度	光學尺柵距	熱膨脹係數（20 °C 時）	供應長度	讀頭相容性
RSLM20/RSLE20/RSLC20	±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m	20 µm	10.1 ±0.2 µm/m/°C	最長達 5 m	VIONiC、TONiC、TONiC UHV
RSLR20	±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m	20 µm	10.1 ±0.2 µm/m/°C	最長達 5 m	RGH20、RGH20F
RSLA30	±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m	30 µm	10.1 ±0.2 µm/m/°C	最長達 5 m	RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS

光學尺名稱	刻線精度（視鋼環的直徑而定）	光學尺柵距	熱膨脹係數（20 °C 時）	環外徑	讀頭相容性
RESR	±3.97 to ±0.38 弧秒	20 µm/40 µm	15.5 ±0.5 µm/m/°C	52 至 550 mm	RGH20、RGH20F、RGH40
RESM	±3.97 to ±0.38 弧秒	20 µm/40 µm	15.5 ±0.5 µm/m/°C	52 至 550 mm	VIONiC、TONiC、TONiC UHV、QUANTiC
RESA30	±3.97 to ±0.38 弧秒	30 µm	15.5 ±0.5 µm/m/°C	52 至 550 mm	RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE ETR、RESOLUTE FS