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光學尺系列

線性光學尺

不鏽鋼捲尺

光學尺名稱

精度

光學尺柵距

熱膨脹係數(20 °C 時)

供應長度

讀頭相容性

RTLF

RTLF20 光學尺

20 μm:±5 μm/m

40 μm(高精度):±5 µm/m
40 μm:±15 μm/m

20 µm/40 µm

10.1 ±0.2 µm/m/°C

長達 10 m (可依要求大於 10 m)

 ATOMATOM DX

不鏽鋼光學尺與選購的軌道

光學尺名稱

精度

光學尺柵距

熱膨脹係數(20 °C 時)

供應長度

讀頭相容性

RTLC 與選購的 FASTRACK

RTLC20 FASTRACK 光學尺

20 μm:±5 μm/m

40 μm(高精度):±5 µm/m
40 μm:±15 μm/m


20 µm/40 µm


10.1 ±0.2 µm/m/°C  

長達 10 m(可依要求大於 10 m)

VIONiCQUANTiCTONiCTONiC UHV

RTLA 與選購的 FASTRACK

RTLA FASTRACK 光學尺

30 μm:±5 µm/m

50 μm:±10 µm/m


30 µm/50 µm

10.1 ±0.2 µm/m/°C

RESOLUTE:長達 21 m

EVOLUTE:長達 10.02 m

RESOLUTERESOLUTE UHVRESOLUTE FS(無 FASTRACK)EVOLUTE

RTLR40 與選購的 FASTRACK

RTLR40 FASTRACK 光學尺

±15 µm/m

40 µm

10.1 ±0.2 µm/m/°C

最長達 10 m

 RGH45

精細不鏽鋼捲尺

光學尺名稱

精度

光學尺柵距

熱膨脹係數

供應長度

讀頭相容性

RKLC-S

RKLC20 光學尺

20 μm:±5 μm/m

40 μm(高精度):±5 µm/m

40 μm:±15 μm/m


20 µm/40 µm

以端蓋固定光學尺尾端時,能符合基板材質

長達 20 m(可依要求大於 20 m)

VIONiCTONiCTONiC UHVQUANTiC

ZeroMet™ 光學尺

光學尺名稱

精度

光學尺柵距

熱膨脹係數(20 °C 時)

供應長度

讀頭相容性

RELM20/RELE20

RELM RSLM 光學尺

±1 µm 用於最多 1 m,則 ±1 µm/m

20 µm

0.75 ±0.35 µm/m/°C

最長達 1.5 m

VIONiCTONiCTONiC UHV

RELA30

RELA 光學尺

±1 µm 用於最多 1 m,則 ±1 µm/m

30 µm

0.75 ±0.35 µm/m/°C

最長達 1.5 m

RESOLUTERESOLUTE UHVRESOLUTE FS

不鏽鋼光學尺

光學尺名稱

精度

光學尺柵距

熱膨脹係數(20 °C 時)

供應長度

讀頭相容性

RSLM20/RSLE20/RSLC20

RELM RSLM 光學尺

±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m

20 µm

10.1 ±0.2 µm/m/°C

最長達 5 m

VIONiCTONiCTONiC UHV

RSLR20

RSLR 光學尺

±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m

20 µm

10.1 ±0.2 µm/m/°C

最長達 5 m

RGH20RGH20F

RSLA30

RELA 光學尺

±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m

30 µm

10.1 ±0.2 µm/m/°C

最長達 5 m

RESOLUTERESOLUTE UHVRESOLUTE FS

玻璃光學尺

光學尺名稱

精度

光學尺柵距

熱膨脹係數

供應長度

讀頭相容性

RCLC

RCLC 光學尺

±3 µm

20 µm/40 µm

~8 µm/m/°C

最長達 130 mm

ATOMATOM DX

RGS40-G

RGS40-G 光學尺

±4.2 µm/m

40 µm

~8 µm/m/°C

最長達 1.01 m

RGH40

鍍金鋼帶

光學尺名稱

精度

光學尺柵距

熱膨脹係數

供應長度

讀頭相容性

RGS

RGS20-S 光學尺

±15 µm/m

20 µm/40 µm

以光學尺端蓋加熱固定於基材

長達 50 m (50 m 以上請洽 Renishaw)

RGH22RGH24RGH25FRGH25F UHVRGH34RGH41

RGSZ20/RGSN20

RGSZ20-S 光學尺

±15 µm/m

20 µm

以光學尺端蓋加熱固定於基材

長達 50 m (50 m 以上請洽 Renishaw)

TONiCTONiC UHV

旋轉光學尺

不鏽鋼環

光學尺名稱

刻線精度(視鋼環的直徑而定)

光學尺柵距

熱膨脹係數(20 °C 時)

環外徑


讀頭相容性

RESR

RESR 光學尺(光學尺頁面)

±3.97 to ±0.38 弧秒

20 µm/40 µm

15.5 ±0.5 µm/m/°C 


52 至 550 mm


RGH20RGH20FRGH40

RESM

RESM-REST 光學尺(光學尺頁面)

±3.97 to ±0.38 弧秒


20 µm/40 µm

15.5 ±0.5 µm/m/°C


52 至 550 mm


VIONiCTONiCTONiC UHVQUANTiC

RESA30

RESA 光學尺(光學尺頁面)

±3.97 to ±0.38 弧秒


30 µm

15.5 ±0.5 µm/m/°C

52 至 550 mm


RESOLUTERESOLUTE UHVRESOLUTE ETRRESOLUTE FS


超高精度不鏽鋼環 

光學尺名稱

安裝精度(視鋼環的直徑而定)

光學尺柵距

熱膨脹係數(20 °C 時)

環外徑


讀頭相容性

REXM20/REXT20

REXM 光學尺(光學尺頁面)

(≥100 mm 直徑)±1 弧秒
(75 mm 直徑)±1.5 弧秒
(≤57 mm 直徑)±2 弧秒

20 µm

15.5 ±0.5 µm/m/°C 

52 至 417 mm


VIONiCTONiCTONiC UHV

REXA30

REXA 光學尺(光學尺頁面)

(≥100 mm 直徑)±1 弧秒
(75 mm 直徑)±1.5 弧秒
(≤57 mm 直徑)±2 弧秒


30 µm

15.5 ±0.5 µm/m/°C 


52 至 417 mm


RESOLUTERESOLUTE UHVRESOLUTE ETRRESOLUTE FS


玻璃碼盤

光學尺名稱

刻線精度(視鋼環的直徑而定)

光學尺柵距

熱膨脹係數(20 °C 時)

環外徑


讀頭相容性

RCDM

RCDM 光學尺(光學尺頁面)

±0.5 µm

20 µm/40 µm

~8 µm/m/°C

 17 至 108 mm


ATOMATOM DX