光學尺系列
線性光學尺
RTL FASTRACK™(不鏽鋼光學尺與選購的軌道)
光學尺名稱 | 精度 | 光學尺刻距 | 熱膨脹係數(20 °C 時) | 供應長度 | 讀頭相容性 |
RTLC 與選購的 FASTRACK ![]() | 20 μm:±5 μm/m 40 μm(高精度):±5 µm/m | 20 µm/40 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 長達 10 m(可依要求供應 10 m 以上長度) | |
RTLA 與選購的 FASTRACK ![]() | 30 μm:±5 µm/m 50 μm:±10 µm/m | 30 µm/50 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | RESOLUTE:長達 21 m EVOLUTE:長達 10.02 m |
RKL(精細型不鏽鋼光學尺)
光學尺名稱 | 精度 | 光學尺刻距 | 熱膨脹係數 | 供應長度 | 讀頭相容性 |
RKLC-S、RKLR-S ![]() | 20 μm:±5 μm/m 40 μm(高精度):±5 µm/m 40 μm:±15 μm/m | 20 µm/40 µm | 以端蓋固定光學尺尾端時,能符合基板材質 | 長達 20 m(可依要求供應 20 m 以上長度) | |
RKLF-S ![]() | 20 μm:±5 μm/m 40 μm(高精度):±5 µm/m 40 μm:±15 μm/m | 20 µm/40 µm | 以端蓋固定光學尺尾端時,能符合基板材質 | 長達 10 m(可依要求供應 10 m 以上長度) | ATOM、ATOM DX |
RKLA-S ![]() | ±5 μm/m | 30 µm | 以端蓋固定光學尺尾端時,能符合基板材質 | 最長達 21 m | RESOLUTE |
REL(ZeroMet™ 光學條尺)
光學尺名稱 | 精度 | 光學尺刻距 | 熱膨脹係數(20 °C 時) | 供應長度 | 讀頭相容性 |
RELM20/RELE20 ![]() | ±1 µm 用於最多 1 m,則 ±1 µm/m | 20 µm | 0.75 ±0.35 µm/m/°C | 最長達 1.5 m | |
RELA30 ![]() | ±1 µm 用於最多 1 m,則 ±1 µm/m | 30 µm | 0.75 ±0.35 µm/m/°C | 最長達 1.5 m |
RSL(不鏽鋼光學條尺)
光學尺名稱 | 精度 | 光學尺刻距 | 熱膨脹係數(20 °C 時) | 供應長度 | 讀頭相容性 |
RSLM20/RSLE20/RSLC20 ![]() | ±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m | 20 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 最長達 5 m | |
RSLA30 ![]() | ±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m | 30 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 最長達 5 m |
部分弧線光學尺
旋轉光學尺
RES(不鏽鋼環)
光學尺名稱 | 刻度精度(視環的直徑而定) | 光學尺刻距 | 熱膨脹係數(20 °C 時) | 環直徑 | 讀頭相容性 |
RESM ![]() | ±3.97 to ±0.38 弧秒 | 20 µm/40 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52 至 550 mm | |
RESA30 ![]() | ±3.97 to ±0.38 弧秒 | 30 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52 至 550 mm |
REX(超高精度不鏽鋼環)
光學尺名稱 | 安裝精度(視環的直徑而定) | 光學尺刻距 | 熱膨脹係數(20 °C 時) | 環直徑 | 讀頭相容性 |
REXM20/REXT20 ![]() | (直徑 ≥ 100 mm)±1 弧秒 | 20 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52 至 417 mm | |
REXA30 ![]() | (直徑 ≥ 100 mm)±1 弧秒 | 30 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52 至 417 mm |
RCDM(玻璃盤)
光學尺名稱 | 刻度精度(視環的直徑而定) | 光學尺刻距 | 熱膨脹係數(20 °C 時) | 環直徑 | 讀頭相容性 |
RCDM ![]() | ±0.5 µm | 20 µm/40 µm | ~8 µm/m/°C | 17 至 108 mm | ATOM、ATOM DX |