光學尺系列

線性光學尺

RTL（不鏽鋼光學尺）

光學尺名稱

精度

光學尺刻距

熱膨脹係數（20 °C 時）

供應長度

讀頭相容性

RTLF

20 μm：±5 μm/m

40 μm（高精度）：±5 µm/m
40 μm：±15 μm/m

20 µm/40 µm

10.1 ±0.2 µm/m/°C

長達 10 m (可依要求大於 10 m)

ATOM、ATOM DX

RTL FASTRACK™（不鏽鋼光學尺與選購的軌道）

光學尺名稱	精度	光學尺刻距	熱膨脹係數（20 °C 時）	供應長度	讀頭相容性
RTLC 與選購的 FASTRACK	20 μm：±5 μm/m 40 μm（高精度）：±5 µm/m 40 μm：±15 μm/m	20 µm/40 µm	10.1 ±0.2 µm/m/°C	長達 10 m（可依要求大於 10 m）	VIONiC、QUANTiC、TONiC、TONiC UHV、TONiC FS
RTLA 與選購的 FASTRACK	30 μm：±5 µm/m 50 μm：±10 µm/m	30 µm/50 µm	10.1 ±0.2 µm/m/°C	RESOLUTE：長達 21 m EVOLUTE：長達 10.02 m	RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS、EVOLUTE
RTLR40 與選購的 FASTRACK 不建議用於新設計	±15 µm/m	40 µm	10.1 ±0.2 µm/m/°C	最長達 10 m	RGH45

RKL（精細型不鏽鋼光學尺）

光學尺名稱	精度	光學尺刻距	熱膨脹係數	供應長度	讀頭相容性
RKLC-S、RKLR-S	20 μm：±5 μm/m 40 μm（高精度）：±5 µm/m 40 μm：±15 μm/m	20 µm/40 µm	以端蓋固定光學尺尾端時，能符合基板材質	長達 20 m（可依要求大於 20 m）	VIONiC、TONiC、TONiC UHV、QUANTiC
RKLF-S	20 μm：±5 μm/m 40 μm（高精度）：±5 µm/m 40 μm：±15 μm/m	20 µm/40 µm	以端蓋固定光學尺尾端時，能符合基板材質	長達 20 m（可依要求大於 20 m）	ATOM、ATOM DX
RKLA-S	±5 μm/m	30 µm	以端蓋固定光學尺尾端時，能符合基板材質	最長達 21 m	RESOLUTE

REL（ZeroMet™ 光學條尺）

光學尺名稱	精度	光學尺刻距	熱膨脹係數（20 °C 時）	供應長度	讀頭相容性
RELM20/RELE20	±1 µm 用於最多 1 m，則 ±1 µm/m	20 µm	0.75 ±0.35 µm/m/°C	最長達 1.5 m	VIONiC、TONiC、TONiC UHV、TONiC FS
RELA30	±1 µm 用於最多 1 m，則 ±1 µm/m	30 µm	0.75 ±0.35 µm/m/°C	最長達 1.5 m	RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS

RSL（不鏽鋼光學條尺）

光學尺名稱	精度	光學尺刻距	熱膨脹係數（20 °C 時）	供應長度	讀頭相容性
RSLM20/RSLE20/RSLC20	±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m	20 µm	10.1 ±0.2 µm/m/°C	最長達 5 m	VIONiC、TONiC、TONiC UHV、TONiC FS
RSLR20 不建議用於新設計	±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m	20 µm	10.1 ±0.2 µm/m/°C	最長達 5 m	RGH20、RGH20F
RSLA30	±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m	30 µm	10.1 ±0.2 µm/m/°C	最長達 5 m	RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS

RCL 和 RGS-G（玻璃光學條尺）

光學尺名稱

精度

光學尺刻距

熱膨脹係數

供應長度

讀頭相容性

RCLC

±3 µm

20 µm/40 µm

~8 µm/m/°C

最長達 130 mm

ATOM、ATOM DX

RGS40-G

不建議用於新設計

±4.2 µm/m

40 µm

~8 µm/m/°C

最長達 1.01 m

RGH40

RGS（鍍金鋼帶）

光學尺名稱

精度

光學尺刻距

熱膨脹係數

供應長度

讀頭相容性

RGS

不建議用於新設計

±15 µm/m

20 µm/40 µm

以光學尺端蓋加熱固定於基材

長達 50 m (50 m 以上請洽 Renishaw)

RGH22、RGH24、RGH25F、RGH25F UHV、RGH34、RGH41

RGSZ20/RGSN20

±15 µm/m

20 µm

以光學尺端蓋加熱固定於基材

長達 50 m (50 m 以上請洽 Renishaw)

TONiC、TONiC UHV

部分弧線光學尺

RKL（精細型不鏽鋼部分弧線光學尺）

光學尺名稱	精度	光學尺刻距	熱膨脹係數	供應長度	讀頭相容性
RKLC-S、RKLR-S	20 μm：±5 μm/m 40 μm：±15 μm/m	20 µm/40 µm	以端蓋固定光學尺尾端時，能符合基板材質	長達 20 m（可依要求大於 20 m）	VIONiC、TONiC、QUANTiC
RKLF-S	±15 μm/m	40 µm	以端蓋固定光學尺尾端時，能符合基板材質	長達 20 m（可依要求大於 20 m）	ATOM、ATOM DX
RKLA-S	±5 μm/m	30 µm	以端蓋固定光學尺尾端時，能符合基板材質	最長達 21 m	RESOLUTE

旋轉光學尺

RES（不鏽鋼環）

光學尺名稱	刻度精度（視環的直徑而定）	光學尺刻距	熱膨脹係數（20 °C 時）	環直徑	讀頭相容性
RESR 不建議用於新設計	±3.97 to ±0.38 弧秒	20 µm/40 µm	15.5 ±0.5 µm/m/°C	52 至 550 mm	RGH20、RGH20F、RGH40
RESM	±3.97 to ±0.38 弧秒	20 µm/40 µm	15.5 ±0.5 µm/m/°C	52 至 550 mm	VIONiC、TONiC、TONiC UHV、TONiC FS、QUANTiC
RESA30	±3.97 to ±0.38 弧秒	30 µm	15.5 ±0.5 µm/m/°C	52 至 550 mm	RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE ETR、RESOLUTE FS