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RESOLUTE™ UHV 絕對式光學尺系統搭配 RELA30 線性光學尺

特性

  • 序列介面:BiSS® C、Panasonic
  • 讀頭尺寸:36 x 16.5 x 17.2 mm
  • 速度高達 100 m/s 時能達到 1 nm 解析度
  • 20 °C 時精度為 ±1 µm
  • 20 °C 時的光學尺熱膨脹係數:0.75 ±0.35 µm/m/°C

優點

  • 極高的精度與幾近零的熱膨脹係數
  • 適合真空環境的低放氣率
  • RMS 抖動低於 10 nm,提升位置穩定性
  • ±40 nm 細分誤差,速度控制平穩
  • 選購的進階診斷工具 (ADT)
網站橫幅的透明修補程式

什麽是 RESOLUTE UHV?

RESOLUTE UHV 為超高真空應用帶來絕對式光學尺技術,因此客戶能提高量測效率、降低受損風險及提升可靠性。

RESOLUTE 優於所有其他針對 UHV 環境設計的絕對式光學尺,RESOLUTE 具備 1nm 解析度與高達 100 m/s 的速度,在光學尺技術規格上無出其右。

什麼是 RELA30 光學尺?

RELA30 為由 ZeroMet 製成的光學尺。ZeroMet 為一種低膨脹係數鎳/鐵合金,具備我們的 30 µm 刻矩絕對式光學尺編碼。
RELA30 可媲美精細刻距玻璃光學尺,提供的整體精度(包括斜率與線性度)在長度達 1 m 的情況下優於 ±1 μm。ZeroMet 在溫度 20 °C 時的熱膨脹係數為 0.75 ±0.35 µm/m/°C。
系統設計師可選擇特別配製的 UHV 相容膠帶或機械夾片滿足安裝需求。兩種安裝方式均可供基板單獨進行熱膨脹。

為什麼選擇這種光學尺系統?

輕鬆查錯和維護

進階診斷工具 ADTa‑100 可由 RESOLUTE™ 光學尺讀頭(以 ADT 符號標記)取得全面即時資料。然後透過簡單易用的 ADT View 軟體介面顯示這些資訊。儘管在大多數情況下,藉由光學尺內建的 LED 安裝指示燈就能夠完成系統安裝,但 ADT 可協助完成要求更加嚴苛的安裝操作。ADT 還可回報光學尺效能並協助系統查錯,進而避免機器出現長時間停機。

UHV(超高真空)

RESOLUTE UHV 採用 Renishaw 的創新絕對式光學尺技術,並透過適合用於精細至 10 -9 陶爾超高真空條件的讀頭發揮其功能。新的 RESOLUTE UHV 光學尺系列從無塵殘留氣體分析材料(RGA)製造而成,適合用於高性能、半導體及科學應用。

寬廣的設定公差

RESOLUTE UHV 不採用傳統集軌並列技術(一個增量、一個絕對),因為這種技術只要發生些許角度準直調整錯誤,就會產生移相問題。對此,RESOLUTE 改採單軌絕對式光學尺設計,將絕對位置和嵌入式相位資訊結合成單一編碼。此技術賦予 RESOLUTE UHV 更寛廣的設定公差(偏擺公差 ±0.5°)以利快速安裝,即使運動軸在一些時間後發生沈降或移位,也能展現優異的長期穩定性。讀頭內建一個設定用的 LED 指示燈,可進一步協助安裝和診斷。

選配的進階診斷工具 ADTa-100

進階診斷工具 ADTa-100

RESOLUTE™ 光學尺讀頭(以 ADT 符號標記)相容於進階診斷工具 ADTa-100 和 ADT View 軟體。它們可提供全面的即時光學尺資料回饋,以協助完成要求更加嚴苛的安裝和診斷操作。直觀的軟體介面具有以下功能:

  • 遠程校正
  • 在整個軸上達到訊號優化
  • 顯示讀頭相對於光學尺位置的數位讀數
  • 匯出和保存資料
  • 設定為零

序列介面

序列介面說明規格資料表相容產品
BiSS C

Renishaw 於其絕對式光學尺支援 BiSS C(單向)開放來源通訊協定。BiSS C 為高速序列介面,非常適合用於需要高加速度、平順速度控制、優異重複性和可靠定位穩定性的動態軸。
RESOLUTE 線性及旋轉(角度)光學尺版本皆支援 BiSS C,相容於各種業界標準控制器、驅動器、DRO 及 PC 計數器介面卡。

RESOLUTE BiSS C

BiSS C 相容產品頁面

Panasonic

RESOLUTE 搭配 Panasonic 序列介面可用於線性及旋轉格式。RESOLUTE 與 A5 和 A6 驅動器系列相容,提供高解析度重複回饋,帶來更佳的伺服及速度控制。

RESOLUTE Panasonic

N/A

技術規格

量測標準

絕對式編碼高精度 ZeroMet 光學尺

讀頭尺寸 (LxWxH)

36 mm x 16.5 mm x 17.2 mm

柵距

標稱為 ±30 μm

熱膨脹係數(20 °C 時)

0.75 ±0.35 μm/m/°C

精度等級(20°C 時)

驗證為最高可達 ±1 μm,校正可追溯至國際標準

光學尺長度

部分 BiSS C 通訊協定版本有長度限制

(詳見規格手冊)

80 mm 至 1.5 m

最高速度

(詳見規格手冊)

達到 100 m/s

序列介面*

BiSS C、Panasonic

解析度

BiSS C:50 nm、5 nm 及 1 nm 解析度

Panasonic:100 nm、50 nm 及 1 nm 解析度

細分誤差 (SDE)

±40 nm

電氣連接

長達 10 m 的纜線長度與散線

電源

5 V ±10%、max 250 mA @ 5 V(終端未連接)

振動(運作時)

於 55 Hz 至 2000 Hz 範圍達到最高速 100 m/s2

衝擊(非工作)

1000 m/s2、6 ms、½ 正弦

工作溫度

0 °C 至 +75 °C

烘烤溫度(非操作)

120 °C

防護等級

IP30

纜線構造

鍍銀銅編單屏蔽FEP 芯絕緣覆蓋鍍錫銅線。

請參閱規格手冊,了解詳細資訊。

*正持續增加其他序列介面。