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RESOLUTE™ UHV 絕對式光學尺系統搭配 REXA30 旋轉(角度)環

特性

  • 可用的通訊協定:BiSS®、Panasonic
  • 讀頭尺寸:36 x 16.5 x 17.2 mm
  • 解析度高達 32 bits/rev
  • 速度高達 8,500 rev/min
  • 安裝精度 ±1 弧秒

優勢

  • 大截面環
  • 寬廣的設定公差
  • 適合真空環境的低放氣率
  • RMS 抖動低於 10 nm,提升位置穩定性
  • ±40 nm 細分誤差,速度控制平穩
  • 選購的進階診斷工具 (ADT)
網站橫幅的透明修補程式

什麽是 RESOLUTE UHV?

RESOLUTE UHV 為超高真空應用帶來絕對式光學尺技術,因此客戶能提高量測效率、降低受損風險及提升可靠性。

RESOLUTE 優於所有其他針對 UHV 環境設計的絕對式光學尺,RESOLUTE 在速度達 8 500 rev/min 時具備 32 位元解析度,在光學尺技術規格上無出其右。

英國女王企業獎:2015 年創新獎

 

此光學尺榮獲 2015 年英國女王企業創新獎。

什麼是 REXA30 環?

REXA30 為一體式不鏽鋼環,具有的 30 µm 刻矩絕對刻度直接標示於周圍。REXA30 擁有大截面,可將安裝錯誤減至最低,但偏心率例外,這種錯誤可使用 RESOLUTE 的雙讀頭平均值輕鬆補正。REXA30 的整體安裝精度高達 ±1 弧秒,具備零連接損失特性和絕佳的重複性。
REXA30 有多種尺寸可供選擇(Ø52 mm 至 Ø417 mm),全部均具備大內徑,可進行彈性整合。非接觸式格式能消除反向間隙、軸扭曲(扭轉)及其他傳統封閉式光學尺固有的機械遲滯錯誤。

為何選擇此光學尺系統?

查錯與維修容易

進階診斷工具 ADTa‑100 可由 RESOLUTE™ 光學尺讀頭取得全面即時資料。相關資訊會透過易於使用的 ADT View 軟體介面顯示。儘管在大部分情況下,光學尺中的一體式設置 LED 已足以設定系統,此 ADT 仍可用於輔助更具挑戰性的安裝。ADT還能回報光學尺效能並協助系統查錯,避免機器停機時間過長。

UHV(超高真空)

RESOLUTE UHV 採用 Renishaw 的創新絕對式光學尺技術,並透過適合用於精細至 10 -9 陶爾超高真空條件的讀頭發揮其功能。新的 RESOLUTE UHV 光學尺系列從無塵殘留氣體分析材料(RGA)製造而成,適合用於高性能、半導體及科學應用。

寬廣的設定公差

RESOLUTE UHV 不採用傳統集軌並列技術(一個增量、一個絕對),因為這種技術只要發生些許角度準直調整錯誤,就會產生移相問題。對此,RESOLUTE 改採單軌絕對式光學尺設計,將絕對位置和嵌入式相位資訊結合成單一編碼。此技術賦予 RESOLUTE UHV 更寛廣的設定公差(偏擺公差 ±0.5°)以利快速安裝,即使運動軸在一些時間後發生沈降或移位,也能展現優異的長期穩定性。讀頭內建一個設定用的 LED 指示燈,可進一步協助安裝和診斷。

選配的進階診斷工具 ADTa-100

進階診斷工具 ADTa-100

RESOLUTE 光學尺系統相容於進階診斷工具 ADTa-100 和 ADT View 軟體。這些工具能提供全方位即時光學尺資料回饋,有利於執行更加艱困的安裝與診斷作業。直覺式軟體介面可用於下列操作:

  • 遠端校準
  • 全軸長訊號最佳化
  • 光學尺位置的數位讀數(相對於光學尺)
  • 匯出與儲存資料
  • 設定為零
通訊協定說明規格資料表相容產品
BiSS®

Renishaw 於其絕對式光學尺支援 BiSS C(單向)開放來源通訊協定。BiSS 為高速序列通訊協定,常用於需要高加速度、平順速度控制、優異雙方重複性和可靠定位穩定性的動態軸。
RESOLUTE 線性及旋轉(角度)光學尺版本皆支援 BiSS ,兩者皆相容於多種符合產業標準的控制器、驅動器、DRO 及 PC 計數卡。

RESOLUTE BiSS

BiSS 相容產品頁

PanasonicRESOLUTE 具備 Panasonic 序列通訊介面,可採用線性與旋轉格式。RESOLUTE 與 A5 和 A6 驅動器系列相容,提供高解析度重複回饋,帶來更佳的伺服及速度控制。RESOLUTE PanasonicN/A

技術規格

量測標準

一體式超高精度絕對編碼不鏽鋼環

讀頭尺寸(長 x 寬 x 高)

36 mm x 16.5 mm x 17.2 mm

光學尺刻距

標稱為 ±30 μm

熱膨脹係數(20 °C 時)15.5 ±0.5 μm/m/°C

環外徑

52 mm 至 417 mm

整體安裝精度(含 2 個讀頭)

(直徑 ≥100 mm)±1 弧秒

(直徑 75 mm)±1.5 弧秒

(直徑 ≤57 mm)±2 弧秒

最高速度

(如需詳細資訊,請參閱規格資料表)

8 500 rpm(52 mm 環)

通訊協定†

BiSS C

解析度

BiSS C:18 位元、26 位元及 32 位元

細分誤差 (SDE)

±40 nm

電氣接線

長達 10 m 的纜線長度與散線

電源

5 V ±10%、250 mA @ 5 V(終端未連接)

振動(工作)

於 55 Hz 至 2 000 Hz 範圍達到最高速 100 m/s2

衝擊(非工作)

1000 m/s2、6 ms、½ 正弦

工作溫度

0 °C 至 +75 °C

烘烤溫度(非操作)

120 °C

防護等級

IP30

纜線構造

鍍銀銅編單屏蔽FEP 芯絕緣覆蓋鍍錫銅線。

如需完整的詳細資訊,請參閱規格資料表。

未來將持續新增其他通訊協定。

下載

規格資料表

使用者指南

白皮書

技術繪圖

工作原理

RESOLUTE 透過各種符合產業標準的通訊協定,以專屬或開放標準純序列格式進行雙向通訊。

RESOLUTE™ 編碼器光學配置附註解

製程開始......

控制器在啟動操作時會將需求訊息傳送至讀頭,指示讀頭瞬間捕捉線性或旋轉光學尺上的絕對位置。讀頭以高功率 LED 光源閃爍照亮光學尺的方式做出回應。閃光只持續 100 ns,以免在活動軸上產生模糊影像。更重要的是,閃光時機控制在幾 ns 之內,以確保所需位置與回報位置的關係,這項不可或缺的特性,使 RESOLUTE 成為符合運動系統超高規格要求的理想選擇。

單軌光學尺

此光學尺基本上是一種具備全寬對比線的單軌光學尺,標稱週期 30 µm。不採用多軌並列設計反而賦予此光學尺重要的防偏擺誤差能力,頭部位置的側向公差也有所改善。

取得影像

光學尺透過非球面鏡成像於專為 RESOLUTE 設計的客製化感測器陣列上,該非球面鏡可將失真程度減至最低。此光學尺採折疊光路與直接成像設計,輕巧且穩定,確保精密量測所需的保真度。

資料解碼與分析

感測器捕捉的影像透過類比轉數位轉換器 (ADC),轉送至功能強大的數位訊號處理器 (DSP)。接著由特別開發的演算法從嵌入光學尺的編碼中,擷取真正絕對但相對粗略的位置。此過程中 DSP 內的其他演算法,利用光學編碼內的冗餘與故意限制進行檢驗與矯正。在此同時,其他常式計算超高解析度精密位置,此位置接著與粗略位置結合,提供真正絕對的超高解析度位置。

最後檢查與資料輸出

完成最後錯誤檢查程序後,此資訊會透過適當的通訊協定以純序列文字上傳至控制器,位置解析度精細至 1 nm 以內。循環冗餘檢查(CRC)功能提供防電氣雜訊干擾保護。整個過程在幾微秒內完成,每秒可重複多達 25,000 次。在各種技術(包括配合軸速調整閃光持續時間)的支援下,即使在 100 m/s 的速度下也能呈現如此優異的表現,而更重要的則是能在低操作速度下展現極低的定位抖動。

結果...

具備寬廣安裝公差的光學尺:RESOLUTE 的偏擺角、俯仰角及翻轉角為 ±0.5°,安裝高度為絕佳的 ±150 µm。此外,寬廣的光學覆蓋區與先進的錯誤矯正程序賦予優異的抗光汙染能力,包括微粒物質和油汙。此光學尺具備上述優點,且在速度為 100 m/s 時保持在 1 nm 的解析度:RESOLUTE 是面對最艱難絕對挑戰時的唯一選擇。