RESOLUTE™ UHV 絕對式光學尺系統搭配 RSLA30 線性光學尺
特性
- 序列介面:BiSS® C、Panasonic
- 讀頭尺寸:36 x 16.5 x 17.2 mm
- 速度高達 100 m/s 時能達到 1 nm 解析度
- 20 °C 時,5 m 範圍的精度為 ±4 µm
- 20 °C 時的光學尺熱膨脹係數:10.1 ±0.2 µm/m/°C
優勢
- 高精度光學尺
- 寬廣的設定公差
- 適合真空環境的低放氣率
- RMS 抖動低於 10 nm,提升位置穩定性
- ±40 nm 細分誤差,速度控制平穩
- 選購的進階診斷工具 (ADT)

什麽是 RESOLUTE UHV?
RESOLUTE UHV 為超高真空應用帶來絕對式光學尺技術,因此客戶能提高量測效率、降低受損風險及提升可靠性。
RESOLUTE 優於所有其他針對 UHV 環境設計的絕對式光學尺,RESOLUTE 具備 1nm 解析度與高達 100 m/s 的速度,在光學尺技術規格上無出其右。
此光學尺榮獲 2015 年英國女王企業創新獎。
什麼是 RSLA30 光學尺?
RSLA30 為不鏽鋼光學尺,具備我們的 30 µm 刻矩絕對式光學尺編碼。
RSLA30 可媲美精細刻距玻璃光學尺,提供的整體精度(包括斜度與線性度)在長度超過 5 m 的情況下優於 ±4 μm。也可將其捲成圈,收納攜帶更為容易,解開後即可作為光學尺使用。
系統設計師可選擇特別配製的膠帶或機械夾片滿足安裝需求。兩種安裝方式均可供基板單獨進行熱膨脹。
為何選擇此光學尺系統?
查錯與維修容易
進階診斷工具 ADTa‑100 可由 RESOLUTE™ 光學尺讀頭取得全面即時資料。相關資訊會透過易於使用的 ADT View 軟體介面顯示。儘管在大部分情況下,光學尺中的一體式設置 LED 已足以設定系統,此 ADT 仍可用於輔助更具挑戰性的安裝。ADT還能回報光學尺效能並協助系統查錯,避免機器停機時間過長。
UHV(超高真空)
RESOLUTE UHV 採用 Renishaw 的創新絕對式光學尺技術,並透過適合用於精細至 10 -9 陶爾超高真空條件的讀頭發揮其功能。新的 RESOLUTE UHV 光學尺系列從無塵殘留氣體分析材料(RGA)製造而成,適合用於高性能、半導體及科學應用。
寬廣的設定公差
RESOLUTE UHV 不採用傳統集軌並列技術(一個增量、一個絕對),因為這種技術只要發生些許角度準直調整錯誤,就會產生移相問題。對此,RESOLUTE 改採單軌絕對式光學尺設計,將絕對位置和嵌入式相位資訊結合成單一編碼。此技術賦予 RESOLUTE UHV 更寛廣的設定公差(偏擺公差 ±0.5°)以利快速安裝,即使運動軸在一些時間後發生沈降或移位,也能展現優異的長期穩定性。讀頭內建一個設定用的 LED 指示燈,可進一步協助安裝和診斷。
選配的進階診斷工具 ADTa-100

RESOLUTE 光學尺系統相容於進階診斷工具 ADTa-100 和 ADT View 軟體。這些工具能提供全方位即時光學尺資料回饋,有利於執行挑戰較高的安裝與診斷作業。直覺式軟體介面可用於下列操作:
- 遠端校正
- 全軸長訊號最佳化
- 光學尺位置的數位讀數(相對於光學尺)
- 匯出與儲存資料
- 設定為零
序列介面
序列介面 | 說明 | 規格資料表 | 相容產品 |
BiSS C | Renishaw 於其絕對式光學尺支援 BiSS C(單向)開放來源通訊協定。BiSS C 為高速序列介面,非常適合用於需要高加速度、平順速度控制、優異重複性和可靠定位穩定性的動態軸。 | ||
Panasonic | RESOLUTE 搭配 Panasonic 序列介面可用於線性及旋轉格式。RESOLUTE 與 A5 和 A6 驅動器系列相容,提供高解析度重複回饋,帶來更佳的伺服及速度控制。 | RESOLUTE Panasonic | N/A |
技術規格
量測標準 | 絕對式編碼高精度不鏽鋼光學尺 |
讀頭尺寸(長 x 寬 x 高) | 36 mm x 16.5 mm x 14.8 mm |
光學尺刻距 | 標稱為 ±30 μm |
熱膨脹係數(20 °C 時) | 10.1 ±0.2 μm/m/°C |
精度等級(20°C 時) | ±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m,(包括斜度與線性度), 校正可追溯至國際標準 |
光學尺長度 | 部分 BiSS C 通訊協定版本有長度限制 (如需詳細資訊,請參閱規格資料表) 80 mm 至 5 m |
最高速度 | (如需詳細資訊,請參閱規格資料表) 最高 100 m/s |
序列介面* | BiSS C、Panasonic |
解析度 | BiSS C:50 nm、5 nm 及 1 nm 解析度 Panasonic:100 nm、50 nm 及 1 nm 解析度 |
細分誤差 (SDE) | ±40 nm |
電氣接線 | 長達 10 m 的纜線長度與散線 |
電源 | 5 V ±10%、max 250 mA @ 5 V(終端未連接) |
振動(工作) | 於 55 Hz 至 2 000 Hz 範圍達到最高速 100 m/s2 |
衝擊(非工作) | 1000 m/s2、6 ms、½ 正弦 |
工作溫度 | 0 °C 至 +75 °C |
烘烤溫度(非操作) | 120 °C |
防護等級 | IP30 |
纜線構造 | 鍍銀銅編單屏蔽FEP 芯絕緣覆蓋鍍錫銅線。 |
如需完整的詳細資訊,請參閱規格資料表。
*正持續增加其他序列介面。