RESOLUTE™ UHV 絕對式光學尺系統搭配 RSLA30 線性光學尺
特性
- 可用的通訊協定：BiSS®、Panasonic
- 讀頭尺寸：36 x 16.5 x 17.2 mm
- 速度高達 100 m/s 時能達到 1 nm 解析度
- 20 °C 時，5 m 範圍的精度為 ±4 µm
- 20 °C 時的光學尺熱膨脹係數：10.1 ±0.2 µm/m/°C
優勢
- 高精度光學尺
- 寬廣的設定公差
- 適合真空環境的低放氣率
- RMS 抖動低於 10 nm，提升位置穩定性
- ±40 nm 細分誤差，速度控制平穩
- 選購的進階診斷工具 (ADT)
什麽是 RESOLUTE UHV？
RESOLUTE UHV 為超高真空應用帶來絕對式光學尺技術，因此客戶能提高量測效率、降低受損風險及提升可靠性。
RESOLUTE 優於所有其他針對 UHV 環境設計的絕對式光學尺，RESOLUTE 具備 1nm 解析度與高達 100 m/s 的速度，在光學尺技術規格上無出其右。
此光學尺榮獲 2015 年英國女王企業創新獎。
什麼是 RSLA30 光學尺？
RSLA30 為不鏽鋼光學尺，具備我們的 30 µm 刻矩絕對式光學尺編碼。
RSLA30 可媲美精細刻距玻璃光學尺，提供的整體精度（包括斜度與線性度）在長度超過 5 m 的情況下優於 ±4 μm。也可將其捲成圈，收納攜帶更為容易，解開後即可作為光學尺使用。
系統設計師可選擇特別配製的膠帶或機械夾片滿足安裝需求。兩種安裝方式均可供基板單獨進行熱膨脹。
為何選擇此光學尺系統？
查錯與維修容易
進階診斷工具 ADTa‑100 可由 RESOLUTE™ 光學尺讀頭取得全面即時資料。相關資訊會透過易於使用的 ADT View 軟體介面顯示。儘管在大部分情況下，光學尺中的一體式設置 LED 已足以設定系統，此 ADT 仍可用於輔助更具挑戰性的安裝。ADT還能回報光學尺效能並協助系統查錯，避免機器停機時間過長。
UHV（超高真空）
RESOLUTE UHV 採用 Renishaw 的創新絕對式光學尺技術，並透過適合用於精細至 10 -9 陶爾超高真空條件的讀頭發揮其功能。新的 RESOLUTE UHV 光學尺系列從無塵殘留氣體分析材料（RGA）製造而成，適合用於高性能、半導體及科學應用。
寬廣的設定公差
RESOLUTE UHV 不採用傳統集軌並列技術（一個增量、一個絕對），因為這種技術只要發生些許角度準直調整錯誤，就會產生移相問題。對此，RESOLUTE 改採單軌絕對式光學尺設計，將絕對位置和嵌入式相位資訊結合成單一編碼。此技術賦予 RESOLUTE UHV 更寛廣的設定公差（偏擺公差 ±0.5°）以利快速安裝，即使運動軸在一些時間後發生沈降或移位，也能展現優異的長期穩定性。讀頭內建一個設定用的 LED 指示燈，可進一步協助安裝和診斷。
選配的進階診斷工具 ADTa-100
RESOLUTE 光學尺系統相容於進階診斷工具 ADTa-100 和 ADT View 軟體。這些工具能提供全方位即時光學尺資料回饋，有利於執行更加艱困的安裝與診斷作業。直覺式軟體介面可用於下列操作：
- 遠端校準
- 全軸長訊號最佳化
- 光學尺位置的數位讀數（相對於光學尺）
- 匯出與儲存資料
- 設定為零
通訊協定
| 通訊協定 | 說明 | 規格資料表 | 相容產品 |
| BiSS® | Renishaw 於其絕對式光學尺支援 BiSS C（單向）開放來源通訊協定。BiSS 為高速序列通訊協定，常用於需要高加速度、平順速度控制、優異雙方重複性和可靠定位穩定性的動態軸。 | ||
Panasonic | RESOLUTE 具備 Panasonic 序列通訊介面，可採用線性與旋轉格式。RESOLUTE 與 A5 和 A6 驅動器系列相容，提供高解析度重複回饋，帶來更佳的伺服及速度控制。 | RESOLUTE Panasonic | N/A |
技術規格
量測標準 | 絕對式編碼高精度不鏽鋼光學尺 |
讀頭尺寸（長 x 寬 x 高） | 36 mm x 16.5 mm x 14.8 mm |
光學尺刻距 | 標稱為 ±30 μm |
熱膨脹係數（20 °C 時） | 10.1 ±0.2 μm/m/°C |
精度等級（20°C 時） | ±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m，（包括斜度與線性度）， 校正可追溯至國際標準 |
光學尺長度 | 部分 BiSS C 通訊協定版本有長度限制 （如需詳細資訊，請參閱規格資料表） 80 mm 至 5 m |
最高速度 | （如需詳細資訊，請參閱規格資料表） 最高 100 m/s |
通訊協定* | BiSS C Panasonic |
解析度 | BiSS C：50 nm、5 nm 及 1 nm 解析度 Panasonic：100 nm、50 nm 及 1 nm 解析度 |
細分誤差 (SDE) | ±40 nm |
電氣接線 | 長達 10 m 的纜線長度與散線 |
電源 | 5 V ±10%、max 250 mA @ 5 V（終端未連接） |
振動（工作） | 於 55 Hz 至 2 000 Hz 範圍達到最高速 100 m/s2 |
衝擊（非工作） | 1000 m/s2、6 ms、½ 正弦 |
工作溫度 | 0 °C 至 +75 °C |
烘烤溫度（非操作） | 120 °C |
防護等級 | IP30 |
纜線構造 | 鍍銀銅編單屏蔽FEP 芯絕緣覆蓋鍍錫銅線。 |
如需完整的詳細資訊，請參閱規格資料表。
*未來將持續新增其他通訊協定。
下載
規格資料表
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規格資料表： RSLA 絕對式高精度不鏽鋼光學尺
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Data sheet: RESOLUTE™ UHV absolute optical encoder [en]
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Data sheet: RESOLUTE™ absolute optical encoder with BiSS serial communications [en]
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Data sheet: RESOLUTE™ absolute optical encoder for Panasonic serial communications [en]
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Data sheet: Advanced Diagnostic Tool ADTa-100 [en]
案例分析
技術繪圖
工作原理
RESOLUTE 透過各種符合產業標準的通訊協定，以專屬或開放標準純序列格式進行雙向通訊。
製程開始......
控制器在啟動操作時會將需求訊息傳送至讀頭，指示讀頭瞬間捕捉線性或旋轉光學尺上的絕對位置。讀頭以高功率 LED 光源閃爍照亮光學尺的方式做出回應。閃光只持續 100 ns，以免在活動軸上產生模糊影像。更重要的是，閃光時機控制在幾 ns 之內，以確保所需位置與回報位置的關係，這項不可或缺的特性，使 RESOLUTE 成為符合運動系統超高規格要求的理想選擇。
單軌光學尺
此光學尺基本上是一種具備全寬對比線的單軌光學尺，標稱週期 30 µm。不採用多軌並列設計反而賦予此光學尺重要的防偏擺誤差能力，頭部位置的側向公差也有所改善。
取得影像
光學尺透過非球面鏡成像於專為 RESOLUTE 設計的客製化感測器陣列上，該非球面鏡可將失真程度減至最低。此光學尺採折疊光路與直接成像設計，輕巧且穩定，確保精密量測所需的保真度。
資料解碼與分析
感測器捕捉的影像透過類比轉數位轉換器 (ADC)，轉送至功能強大的數位訊號處理器 (DSP)。接著由特別開發的演算法從嵌入光學尺的編碼中，擷取真正絕對但相對粗略的位置。此過程中 DSP 內的其他演算法，利用光學編碼內的冗餘與故意限制進行檢驗與矯正。在此同時，其他常式計算超高解析度精密位置，此位置接著與粗略位置結合，提供真正絕對的超高解析度位置。
最後檢查與資料輸出
完成最後錯誤檢查程序後，此資訊會透過適當的通訊協定以純序列文字上傳至控制器，位置解析度精細至 1 nm 以內。循環冗餘檢查（CRC）功能提供防電氣雜訊干擾保護。整個過程在幾微秒內完成，每秒可重複多達 25,000 次。在各種技術（包括配合軸速調整閃光持續時間）的支援下，即使在 100 m/s 的速度下也能呈現如此優異的表現，而更重要的則是能在低操作速度下展現極低的定位抖動。
結果...
具備寬廣安裝公差的光學尺：RESOLUTE 的偏擺角、俯仰角及翻轉角為 ±0.5°，安裝高度為絕佳的 ±150 µm。此外，寬廣的光學覆蓋區與先進的錯誤矯正程序賦予優異的抗光汙染能力，包括微粒物質和油汙。此光學尺具備上述優點，且在速度為 100 m/s 時保持在 1 nm 的解析度：RESOLUTE 是面對最艱難絕對挑戰時的唯一選擇。