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RESOLUTE™ UHV 絕對式光學尺系統搭配 RTLA30 線性光學尺

特性

  • 序列介面:BiSS® C、Panasonic
  • 讀頭尺寸:36 x 16.5 x 17.2 mm
  • 速度高達 100 m/s 時能達到 1 nm 解析度
  • 20 °C 時精度為 ±5 µm/m
  • 20 °C 時的光學尺熱膨脹係數:10.1 ±0.2 µm/m/°C

優勢

  • 光學捲尺方便耐用
  • 適合真空環境的低放氣率
  • RMS 抖動低於 10 nm,提升位置穩定性
  • ±40 nm 細分誤差,速度控制平穩
  • 選購的進階診斷工具 (ADT)
網站橫幅的透明修補程式

什麽是 RESOLUTE UHV?

RESOLUTE UHV 為超高真空應用帶來絕對式光學尺技術,因此客戶能提高量測效率、降低受損風險及提升可靠性。

RESOLUTE 優於所有其他針對 UHV 環境設計的絕對式光學尺,RESOLUTE 具備 1nm 解析度與高達 100 m/s 的速度,在光學尺技術規格上無出其右。

英國女王企業獎:2015 年創新獎

此光學尺榮獲 2015 年英國女王企業創新獎。

什麼是 RTLA30 光學尺?

RTLA30 是一種外型輕巧不鏽鋼光學捲尺,具有 30 µm 刻距絕對式光學尺編碼。精度高達 ±5 µm/m,長度達 21 公尺。提供兩種安裝選擇,皆允許獨立熱膨脹且具備光學捲尺的便利性。

RTLA30 能與創新 FASTRACK™ 光學尺攜帶系統搭配使用。此系統的軌道鋪設迅速簡便,無須使用固定孔。只要取下隔板,捲尺隨即送入軌道。

RTLA30-S 以自黏背膠帶鋪設於基材。自黏膠的設計能使光學尺獨立擴展於基材。

為了完成安裝,兩種光學尺皆夾固在一點以提供基準位置。

為何選擇此光學尺系統?

查錯與維修容易

進階診斷工具 ADTa‑100 可由 RESOLUTE™ 光學尺讀頭取得全面即時資料。相關資訊會透過易於使用的 ADT View 軟體介面顯示。儘管在大部分情況下,光學尺中的一體式設置 LED 已足以設定系統,此 ADT 仍可用於輔助更具挑戰性的安裝。ADT還能回報光學尺效能並協助系統查錯,避免機器停機時間過長。

UHV(超高真空)

RESOLUTE UHV 採用 Renishaw 的創新絕對式光學尺技術,並透過適合用於精細至 10 -9 陶爾超高真空條件的讀頭發揮其功能。新的 RESOLUTE UHV 光學尺系列從無塵殘留氣體分析材料(RGA)製造而成,適合用於高性能、半導體及科學應用。

寬廣的設定公差

RESOLUTE UHV 不採用傳統集軌並列技術(一個增量、一個絕對),因為這種技術只要發生些許角度準直調整錯誤,就會產生移相問題。對此,RESOLUTE 改採單軌絕對式光學尺設計,將絕對位置和嵌入式相位資訊結合成單一編碼。此技術賦予 RESOLUTE UHV 更寛廣的設定公差(偏擺公差 ±0.5°)以利快速安裝,即使運動軸在一些時間後發生沈降或移位,也能展現優異的長期穩定性。讀頭內建一個設定用的 LED 指示燈,可進一步協助安裝和診斷。

選配的進階診斷工具 ADTa-100

進階診斷工具 ADTa-100

RESOLUTE 光學尺系統相容於進階診斷工具 ADTa-100 和 ADT View 軟體。這些工具能提供全方位即時光學尺資料回饋,有利於執行挑戰較高的安裝與診斷作業。直覺式軟體介面可用於下列操作:

  • 遠端校正
  • 全軸長訊號最佳化
  • 光學尺位置的數位讀數(相對於光學尺)
  • 匯出與儲存資料
  • 設定為零

序列介面

序列介面說明規格資料表相容產品
BiSS C

Renishaw 於其絕對式光學尺支援 BiSS C(單向)開放來源通訊協定。BiSS C 為高速序列介面,非常適合用於需要高加速度、平順速度控制、優異重複性和可靠定位穩定性的動態軸。
RESOLUTE 線性及旋轉(角度)光學尺版本皆支援 BiSS C,相容於各種業界標準控制器、驅動器、DRO 及 PC 計數器介面卡。

RESOLUTE BiSS C

BiSS C 相容產品頁面

Panasonic

RESOLUTE 搭配 Panasonic 序列介面可用於線性及旋轉格式。RESOLUTE 與 A5 和 A6 驅動器系列相容,提供高解析度重複回饋,帶來更佳的伺服及速度控制。

RESOLUTE Panasonic

N/A

技術規格

量測標準

FASTRACK RTLA30:不鏽鋼光學捲尺搭配軌道安裝系統

RTLA30-S:不鏽鋼絕對式編碼光學捲尺與黏性背膠,可直接安裝在基材上,無須使用 FASTRACK 導軌

讀頭尺寸(長 x 寬 x 高)

36 mm x 16.5 mm x 17.2 mm

光學尺刻距

標稱為 ±30 μm

熱膨脹係數(20 °C 時)

10.1 ±0.2 μm/m/°C

精度等級(20°C 時)

±5 μm/m

光學尺長度

部分 BiSS C 通訊協定版本設有長度上限(請參閱規格資料表以瞭解詳情)

FASTRACK:100 mm 至 25 m

RTLA30/RTLA30-S:高達 21 m

最高速度

(如需詳細資訊,請參閱規格資料表)

最高 100 m/s

序列介面*

BiSS C、Panasonic

解析度

BiSS C:50 nm、5 nm 及 1 nm 解析度

Panasonic:100 nm、50 nm 及 1 nm 解析度

細分誤差 (SDE)

±40 nm

電氣接線

長達 10 m 的纜線長度與散線

電源

5 V ±10%、max 250 mA @ 5 V(終端未連接)

振動(工作)

於 55 Hz 至 2000 Hz 範圍達到最高速 100 m/s2

衝擊(非工作)

1000 m/s2、6 ms、½ 正弦

工作溫度

0 °C 至 +75 °C

烘烤溫度(非操作)

120 °C

防護等級

IP30

纜線構造

鍍銀銅編單屏蔽FEP 芯絕緣覆蓋鍍錫銅線。

如需完整的詳細資訊,請參閱規格資料表。

*正持續增加其他序列介面。