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RLD10 無內部干涉儀

結合 Renishaw 獨特光纖傳輸系統的便利性和效能,並採用應用專屬的光學配置。

包含一個獨特的多通道條紋探測系統、雷射光閘和內置準直輔助鏡,可讓 RLD 輕鬆導入專業應用。

RLD10-XX 檢測頭僅提供 0° 版本。

特性和優點

  • 客製化光學解決方案-不含內部光學鏡組,因此可針對外部光學鏡組配置 RLD,以涵蓋一系列的應用。
  • 校正量測-適合搭配 Renishaw 校正光學鏡組系列,以便進行真直度、角度及線性量測。
  • 真空相容性-亦相容於 RVI20,可用於兩個特徵之間的相對量測。

規格 

 平面鏡應用反射鏡應用
軸行程0 m 至 1 m0 m 至 4 m
解析度(以 RLU 配置)類比正交 = λ/4 (158 nm)
數位正交 = 10 nm
RPI20 解析度 = 38.6 pm
類比正交 = λ/2 (316 nm)
數位正交 = 20 nm
RPI20 解析度 = 77.2 pm

系統非線性誤差* (SDE)

*不含介面

 <±2.5 nm(低於 50 mm/sec,>70% 訊號強度)
<±7.5 nm(在 1 m/sec,>50% 訊號強度時)
 <±5 nm(低於 100 mm/sec,>70% 訊號強度)
<±13 nm(在 2 m/sec,>50% 訊號強度時)
最高速度最高 1 m/sec最高 2 m/sec

產品資訊