TONiC™ 光學尺系列
TONiC 系列是 Renishaw 的超輕巧型非接觸增量式光學尺系統,如與 Ti 介面結合,在線性和旋轉應用中,均可達到 10 m/s 的速度和低至 1 nm 的解析度。TONiC 系統安裝快速簡便,提供寬鬆的安裝公差,按下按鈕即可進行校正。TONiC 光學尺的動態訊號處理功能可改善訊號穩定性,維持一般小於 ±30 nm 的超低細分誤差,有助於實現優異的運動控制效能。
此外,還有 2 種更加應用導向的版本:
TONiC UHV 將增量式光學尺技術用於精細至10-10 陶爾的超高真空應用,滿足緊密形態係數和高效能需求。
TONiC FS(功能安全)通過功能安全應用的 SIL2 及 PLd 認證。

光學尺選項
- 磁性尺用於須取得直線位置資訊的應用中,通常為 X、Y 及 Z 軸。
- 旋轉光學尺用來取得角度位置資訊及旋轉元件的運動控制。
- 部分弧線光學尺可環繞鼓、軸或圓弧,以量測旋轉的部分弧線。
精細型不鏽鋼部分弧線光學尺
光學尺名稱 | 精度 | 光學尺刻距 | 熱膨脹係數 | 供應長度 | 讀頭相容性 |
RKLC-S、RKLR-S ![]() | 20 μm:±5 μm/m 40 μm:±15 μm/m | 20 µm/40 µm | 以端蓋固定光學尺尾端時,能符合基板材質 | 長達 20 m(可依要求大於 20 m) |