跳轉瀏覽

TONiC™ 光學尺系列

什麽是 TONiC?

TONiC 是 Renishaw 的超輕巧型非接觸式光學尺系統,如與 Ti 介面結合,在線性和旋轉應用中,均可達到 10 m/s 的速度和低至 1 nm 的解析度。TONiC 系統安裝快速簡便,提供寬鬆的安裝公差,按下按鈕即可進行校正。TONiC 的動態訊號處理功能改善訊號穩定性,維持一般位於 ±30 nm 以內超低的細分誤差,有助於實現優異的運動控制效能。

TONiC UHV 將增量式光學尺技術用於精細至10-10 陶爾的超高真空應用,滿足緊密形態係數和高效能需求。

網站浮雕:TONiC 讀頭

光學尺選項

  • 磁性尺用於須取得直線位置資訊的應用中,通常為 X、Y 及 Z 軸。
  • 旋轉光學尺用來取得角度位置資訊及旋轉元件的運動控制。

不鏽鋼光學尺與選購的軌道

光學尺名稱

精度

光學尺柵距

熱膨脹係數(20 °C 時)

供應長度

讀頭相容性

RTLC20 與選購的 FASTRACK™

RTLC20 FASTRACK 光學尺

±5 µm/m

20 µm

10.1 ±0.2 µm/m/°C

長達 10 m(可依要求大於 10 m)

TONiCTONiC UHV

精細不鏽鋼捲尺

光學尺名稱

精度

光學尺柵距

熱膨脹係數

供應長度

讀頭相容性

RKLC20-S

RKLC20 光學尺

±5 μm/m

20 µm

以端蓋固定光學尺尾端時,能符合基板材質

長達 20 m(可依要求大於 20 m)

TONiCTONiC UHV

ZeroMet™ 光學尺 

光學尺名稱

精度

光學尺柵距

熱膨脹係數(20 °C 時)

供應長度

讀頭相容性

RELM20/RELE20

RELM RSLM 光學尺

±1 µm 用於最多 1 m,則 ±1 µm/m

20 µm

0.75 ±0.35 µm/m/°C

最長達 1.5 m

TONiCTONiC UHV

不鏽鋼光學尺

光學尺名稱

精度

光學尺柵距

熱膨脹係數(20 °C 時)

供應長度

讀頭相容性

RSLM20/RSLE20/RSLC20

RELM RSLM 光學尺

±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m

20 µm

10.1 ±0.2 µm/m/°C

最長達 5 m

TONiCTONiC UHV

鍍金鋼帶

光學尺名稱

精度

光學尺柵距

熱膨脹係數

供應長度

讀頭相容性

RGSZ20/RGSN20

RGSZ20-S 光學尺

±15 µm/m

20 µm

以光學尺端蓋加熱固定於基材

長達 50 m (50 m 以上請洽 Renishaw)

TONiCTONiC UHV

不鏽鋼環

光學尺名稱

刻線精度(視鋼環的直徑而定)

光學尺柵距

熱膨脹係數(20 °C 時)

環外徑

讀頭相容性

RESM20/REST20

RESM-REST 光學尺(光學尺頁面)

±3.97 to ±0.38 弧秒

20 µm

15.5 ±0.5 μm/m/°C

52 至 550 mm

TONiCTONiC UHV

超高精度不鏽鋼環 

光學尺名稱

安裝精度(視鋼環的直徑而定)

光學尺柵距

熱膨脹係數(20 °C 時)

環外徑

讀頭相容性

REXM20/REXT20

REXM 光學尺(光學尺頁面)

(≥100 mm 直徑)±1 弧秒
(75 mm 直徑)±1.5 弧秒
(≤57 mm 直徑)±2 弧秒

20 µm

15.5 ±0.5 µm/m/°C

 52 至 417 mm

TONiCTONiC UHV