TONiC™ 光學尺系列

TONiC 系列是 Renishaw 的超輕巧型非接觸增量式光學尺系統，如與 Ti 介面結合，在線性和旋轉應用中，均可達到 10 m/s 的速度和低至 1 nm 的解析度。TONiC 系統安裝快速簡便，提供寬鬆的安裝公差，按下按鈕即可進行校正。TONiC 光學尺的動態訊號處理功能可改善訊號穩定性，細分誤差通常超低，不到 ±30 nm，有助於實現優異的運動控制效能。

此外，還有 2 種更加應用導向的版本：

TONiC UHV 將增量式光學尺技術用於精細至10^-10 陶爾的超高真空應用，滿足緊密形態係數和高效能需求。

TONiC FS（功能安全）通過功能安全應用的 SIL2 及 PLd 認證。

光學尺選項

磁性尺用於須取得直線位置資訊的應用中，通常為 X、Y 及 Z 軸。
旋轉光學尺用來取得角度位置資訊及旋轉元件的運動控制。
部分弧線光學尺可環繞鼓、軸或圓弧，以量測旋轉的部分弧線。

不鏽鋼光學尺與選購的軌道

光學尺名稱	精度	光學尺刻距	熱膨脹係數（20 °C 時）	供應長度	讀頭相容性
RTLC20 與選購的 FASTRACK™	±5 µm/m	20 µm	10.1 ±0.2 µm/m/°C	長達 10 m（可依要求大於 10 m）	TONiC、TONiC UHV、TONiC FS

精細型不鏽鋼捲尺

光學尺名稱	精度	光學尺刻距	熱膨脹係數	供應長度	讀頭相容性
RKLC20-S	±5 μm/m	20 µm	以端蓋固定光學尺尾端時，能符合基板材質	長達 20 m（可依要求大於 20 m）	TONiC、TONiC UHV

ZeroMet™ 光學尺

光學尺名稱	精度	光學尺刻距	熱膨脹係數（20 °C 時）	供應長度	讀頭相容性
RELM20/RELE20	±1 µm 用於最多 1 m，則 ±1 µm/m	20 µm	0.75 ±0.35 µm/m/°C	最長達 1.5 m	TONiC、TONiC UHV、TONiC FS

不鏽鋼光學尺

光學尺名稱	精度	光學尺刻距	熱膨脹係數（20 °C 時）	供應長度	讀頭相容性
RSLM20/RSLE20/RSLC20	±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m	20 µm	10.1 ±0.2 µm/m/°C	最長達 5 m	TONiC、TONiC UHV、TONiC FS

精細型不鏽鋼部分弧線光學尺

光學尺名稱

精度

光學尺刻距

熱膨脹係數

供應長度

讀頭相容性

RKLC20-S

20 μm：±5 μm/m

20 µm

以端蓋固定光學尺尾端時，能符合基板材質

長達 20 m（可依要求大於 20 m）

TONiC

不鏽鋼環

光學尺名稱	刻度精度（視環的直徑而定）	光學尺刻距	熱膨脹係數（20 °C 時）	環直徑	讀頭相容性
RESM20/REST20	±3.97 to ±0.38 弧秒	20 µm	15.5 ±0.5 μm/m/°C	52 至 550 mm	TONiC、TONiC UHV、TONiC FS

超高精度不鏽鋼環

光學尺名稱	安裝精度（視環的直徑而定）	光學尺刻距	熱膨脹係數（20 °C 時）	環直徑	讀頭相容性
REXM20/REXT20	（直徑 ≥ 100 mm）±1 弧秒（直徑 75 mm）±1.5 弧秒（直徑 ≤ 57 mm）±2 弧秒	20 µm	15.5 ±0.5 µm/m/°C	52 至 417 mm	TONiC、TONiC UHV