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TONiC™ UHV 增量式編碼器系統具備 RTLC20 線性光學尺

特性

  • 讀頭尺寸:35 x 13.5 x 10 mm
  • 能達到 1 nm 解析度
  • 速度高達 10 m/s
  • 類比或數位輸出
  • 超低的細分誤差 (SDE):一般低於 ±30 nm
  • 客製化光學 IN-TRAC™ 參考原點

優勢

  • 超高真空 (UHV)
  • 光學捲尺方便耐用
  • 攜帶型光學尺系統不論安裝或更換都非常迅速方便。
  • 超輕巧型編碼器具備動態訊號調節功能,能提高運動控制性能
  • 診斷套件
網站橫幅的透明修補程式

什麽是 TONiC UHV?

TONiC UHV 將 Renishaw 的超輕巧型非接觸式編碼器系統引進超高真空應用,為客戶帶來更佳的運動控制性能。
TONiC 與 Ti 介面結合,在線性和旋轉應用中,均可達到 10 m/s 的速度和低至 1 nm 的解析度。TONiC 系統安裝快速簡便,提供寬鬆的安裝公差,按下按鈕即可進行校正。TONiC 的動態訊號處理功能改善訊號穩定性,維持一般位於 ±30 nm 以內超低的細分誤差,有助於實現優異的運動控制效能。

什麼是 RTLC20 光學尺?

RTLC20 是一種輕巧不鏽鋼光學捲尺,刻距為 20 µm,並提供 IN-TRAC 客製化參考原點。精度高達 ±5 µm/m,長度達 10 公尺 (可依要求大於 10 公尺)。提供兩種安裝選擇,皆允許獨立熱膨脹且具備光學捲尺的便利性。
RTLC20 能與創新 FASTRACK™ 光學尺攜帶系統搭配使用。此系統的軌道鋪設迅速簡便,無須使用固定孔。只要取下隔板,捲尺隨即送入軌道。
RTLC20-S 以自黏背膠帶鋪設在基材上。自黏膠的設計能使光學尺獨立擴展於基材。
為了完成安裝,兩種光學尺皆夾固在一點以提供基準位置。

為何選擇此光學尺系統?

超高真空 (UHV)

TONiC UHV 讀頭將標準 TONiC 的優異性能引入讀頭。TONiC UHV 讀頭在設計及建造上運用了 UHV 相容材質及加工技術,適合用於精細至 10 -10 Torr 的 UHV 條件。
TONiC UHV 光學尺及配件系列由真空相容材質及黏著劑製成,具備低放氣率並經過受證實的無塵殘留氣體分析 (RGA),適用於許多用途,包括晶片搬運/測試、科學儀器、光譜儀、真空檢驗設備等更多其他應用。

易拆型光學尺

RTLC20/FASTRACK 適合用於機器須拆卸運送,或須經常安裝/拆卸光學尺以利運送等場合。即使維修空間狹窄,也可從導軌拉出光學尺迅速更換,減少機器的停機時間。

產品尺寸輕巧,可提供頂級可靠度及性能

為了提供最佳可靠度及穩定性能, TONiC 讀頭整合第三代過濾光學鏡組,雜訊(抖動)調整至更低,透過包含自動增益控制及自動偏置控制的動態訊號處理功能進行進一步改善。上述組合皆整合至讀頭,提供的訊號純度無可比擬,具備 ±30 nm 的超低細分誤差。因此,TONiC 讀頭具備更佳的掃描性能及位置穩定性,故能提供更平順的速度控制,因此有助於將真空裝置馬達累積的熱量降至最低。輕型讀頭凝聚了真空應用的所有基本要素。

安裝更快、更方便

讀頭的設定 LED 提供訊號大小及選配診斷工具組的視覺顯示,可供機體中的讀頭進行遠端遙控系統性能。按下按鈕即可調節參考原點及增量訊號,不須進行機械調整或使用額外的診斷工具。IN-TRAC 客戶自選光學參考原點嵌入增量式光學尺,設計精巧且調整步驟簡化。因此,可產生參考原點輸出,此輸出可在全工作溫度及速度範圍下,雙向重現至解析度單位。

介面選項

TD(雙解析度)介面

  • 可選擇雙解析度正交輸出。Ti 介面(平方)
  • 介面選項適合需要高速運動的應用,結合更精密精度的運動。

DOP(雙輸出)介面

  • 提供同步數位正交及 1 Vpp 訊號。
  • 此介面在設計上適合用於須透過運動軸,將一或多項作業進行同步的應用。TONiC 雙輸出 (DOP) 介面

選配診斷工具組

TONiC™ 診斷工具組(軟體及硬體)

可採用 TONiC 軟體優化 TONiC 光學尺的安裝,提供快速全面的系統校準。必須將軟體與 TONiC 診斷硬體一起使用,即可使用 A-9411-0011 零件訂貨號從 Renishaw 購買。可透過 USB 線(於套件中提供)或客戶線上電子裝置連接硬體與電腦。

瞭解所有關於 TONiC 診斷工具組的資訊。

技術規格

量測標準

FASTRACK RTLC20:不鏽鋼光學捲尺與攜帶系統

RTLC20-S: 不鏽鋼光學捲尺與自黏背膠帶,可直接安裝在基材上,無須使用 FASTRACK 導軌

讀頭尺寸(長 x 寬 x 高)

35 mm x 13.5 mm x 10 mm

光學尺刻距

20 μm

熱膨脹係數(20 °C 時)

10.1 ±0.2 μm/m/°C

精度等級(20°C 時)

±5 μm/m

參考原點

IN-TRAC 的參考原點標記直接嵌入 RTLC20 / RTLC20-S

磁性選擇器用來辨識所選的參考原點

限位開關

雙或單限位(可於訂購時選擇)

光學尺長度

FASTRACK100 mm 至 25 m

RTLC20/RTLC20-S:長達 10 m

(可依要求供應 10 m 以上長度)

最高速度

類比

數位

(如需詳細資訊,請參閱規格資料表)

於 -3 dB 時最高達 10 m/s

最高 10 m/s

細分誤差 (SDE)

一般低於 ±30 nm

動態訊號控制

即時訊號調節,包括自動增益控制 (AGC) 及自動偏置控制 (AOC),優化操作時的性能

增量訊號

類比

數位


1 Vpp(20 μm 週期)

解析度範圍為 5 μm 至 1 nm

電氣接線

0.5 m、1 m、1.5 m、3 m、5 m 及 10 m 纜線長度及迷你接頭(直接連接 TONiC 介面)

電源

5 V ±10%、低於 100 mA(類比系統)、低於 200 mA(數位系統)(終端未連接)

讀頭耗電量<100 mA

振動(工作)

於 55 Hz 至 2 000 Hz 範圍達到最高速 100 m/s2

衝擊(非工作)

1000 m/s2、6 ms、½ 正弦

工作溫度(系統)

0 °C 至 +70 °C

烘烤溫度(非操作)

120 °C(僅限讀頭及光學尺)

防護等級

讀頭:IP20

介面:IP20

纜線構造

鍍錫銅編單屏蔽、FEP 芯線絕緣體

如需完整的詳細資訊,請參閱規格資料表。

 

下載

規格資料表

軟體

  • TONiC™ 診斷軟體版本 1.0 [en]

工作原理

TONiC 具備 Renishaw 第三代獨特過濾光學鏡組,能均化許多光學尺週期的作用,並且有效篩選非週期特徵,例如髒汙。表面方波刻距模型也經過篩選,在光感測器留下純粹正弦的干涉條紋。其中使用了一種多指結構,精細到足以產生四種對稱相位訊號形式的光電流。這些結合是為了移除 DC 元件及產生正弦與餘弦訊號輸出,具備高光譜純度與低偏移,維持高達 500 kHz 的頻寬。

完全整合的先進動態訊號調節、自動增益控制、自動平衡控制及自動偏置控制,確保能提供一般低於 ±30 nm 的超低細分誤差 (SDE) 。

過濾光學鏡組的進化與精選電子裝置結合,提供寬頻寬增量訊號,達到 10 m/s 的最高速度與最低位置抖動(雜訊),遠勝於市場上其他同級光學尺。由內建於 TONiC Ti 介面的 CORDIC 演算機制進行細分,透過額外的降噪電子工具加強高解析度版本,將抖動降為極低的 0.5 nm RMS。

TONiC™ 光學配置附註解

IN-TRAC 參考原點完全整合至增量式光學尺,並由讀頭內二側的光感測器偵測。如圖所示,參考原點分割偵測器直接嵌入增量槽刻度線性光電二極體陣列,確保能增強抗偏航失相性能。產生參考原點輸出,此輸出可在任何速度下雙向重現至解析度單位。獨特的安排歸功於自動校正程序,以電子方式定相參考原點及優化動態訊號調節