運動平台在真空環境中的應用藉由超高真空（UHV）光學尺提升穩定性
2021 年 5 月
在工業界有不少製程需要在真空環境下進行，許多高精密產品在製造過程中也必需使用不同程度的真空技術，產品最後在大氣環境下使用。典型應用包括顯示面板中薄膜和基板之間的精密貼合製程、半導體製程中的薄膜濺鍍、晶圓檢測等等，任何相關的零組件都必須滿足真空環境的要求。
韓國運動平台製造商 VAD Instrument（以下簡稱 VAD）為了滿足其精密製程設備對真空規格的嚴格要求，採用 Renishaw TONiC 系列超高真空 (UHV) 光學尺系統，藉此提升平台的整體精度和穩定性。
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個案研究： 運動平台在真空環境中的應用 藉由超高真空（UHV）光學尺提升穩定性
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- 運動平台在真空環境中的應用 藉由超高真空（UHV）光學尺提升穩定性 [31kB]
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真空平台配置 RLE 雷射尺系統
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用於 AOI 設備的精密平台
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半導體真空平台
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TONiC™ UHV 搭配 RELM
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