VIONiC™ 光學尺系列

VIONiC 光學尺系列是 Renishaw 最高效的增量式光學尺。透過優異的量測性能、高速度和高可靠性，可提供直接數位位置回饋。VIONiC 讀頭整合了 Renishaw 經市場認可的過濾光學鏡組與進階細分技術。因此，可提供超低細分誤差 (SDE)、絕佳抗汙能力，且能無須使用額外轉接器或獨立介面。

VIONiC 讀頭相容於多種線性、部分弧線和旋轉光學尺，從低膨脹係數的 ZeroMet 到高精度的 REXM 環皆適用。這也使得這項多功能產品相當適用於量測要求嚴苛的多種應用方式。

由於設計中已採用直覺式自動校正模式，因此 VIONiC 讀頭易於安裝。選購的進階診斷工具 ADTi-100 可享有安裝過程的即時光學尺資料回饋或現場診斷。

新功能！

VIONiC 光學尺現在可適用於解析度低至 2.5 nm 且強化 SDE 的產品。

* 下載內容包括規格資料表、安裝指南、影片、軟體、技術繪圖。

主要特色

速度

時脈輸出選項 (MHz)	最高速度 (m/s)												最小邊緣區隔* (ns)
時脈輸出選項 (MHz)	D (5 μm)	X (1 μm)	Z (0.5 μm)	W (0.2 μm)	Y (0.1 μm)	H (50 nm)	M (40 nm)	P (25 nm)	I (20 nm)	O (10 nm)	Q (5 nm)	R (2.5 nm)	最小邊緣區隔* (ns)
50	12	12	12	7.25	3.63	1.81	1.45	0.906	0.725	0.363	0.181	0.091	25.3
40	12	12	12	5.80	2.90	1.45	1.16	0.725	0.580	0.290	0.145	0.073	31.8
25	12	12	9.06	3.63	1.81	0.906	0.725	0.453	0.363	0.181	0.091	0.045	51.2
20	12	12	8.06	3.22	1.61	0.806	0.645	0.403	0.322	0.161	0.081	0.040	57.7
12	12	10.36	5.18	2.07	1.04	0.518	0.414	0.259	0.207	0.104	0.052	0.026	90.2
10	12	8.53	4.27	1.71	0.850	0.427	0.341	0.213	0.171	0.085	0.043	0.021	110
08	12	6.91	3.45	1.38	0.690	0.345	0.276	0.173	0.138	0.069	0.035	0.017	136
06	12	5.37	2.69	1.07	0.540	0.269	0.215	0.134	0.107	0.054	0.027	0.013	175
04	12	3.63	1.81	0.730	0.360	0.181	0.145	0.091	0.073	0.036	0.018	0.009	259
01	4.53	0.910	0.450	0.180	0.090	0.045	0.036	0.023	0.018	0.009	0.005	0.002	1038

* 用於具有 1 公尺纜線的讀頭。

超低細分誤差 (SDE)

細分誤差 – 10 個誤差週期

X 軸：讀頭位置 (mm)

Y 軸：誤差 (nm)

光學尺選項

磁性尺用於須取得直線位置資訊的應用中，通常為 X、Y 及 Z 軸。
旋轉光學尺用來取得角度位置資訊及旋轉元件的運動控制。
部分弧線光學尺可環繞鼓、軸或圓弧，以量測旋轉的部分弧線。

不鏽鋼光學尺與選購的軌道

光學尺名稱	精度	光學尺刻距	熱膨脹係數（20 °C 時）	供應長度	讀頭相容性
RTLC20 與選購的 FASTRACK™	±5 µm/m	20 µm	10.1 ±0.2 µm/m/°C	長達 10 m（可依要求大於 10 m）	VIONiC

精細型不鏽鋼捲尺

光學尺名稱	精度	光學尺刻距	熱膨脹係數	供應長度	讀頭相容性
RKLC20-S	±5 μm/m	20 µm	以端蓋固定光學尺尾端時，能符合基板材質	長達 20 m（可依要求大於 20 m）	VIONiC

ZeroMet™ 光學尺

光學尺名稱	精度	光學尺刻距	熱膨脹係數（20 °C 時）	供應長度	讀頭相容性
RELM20/RELE20	±1 µm 用於最多 1 m，則 ±1 µm/m	20 µm	0.75 ±0.35 µm/m/°C	最長達 1.5 m	VIONiC

不鏽鋼光學尺

光學尺名稱	精度	光學尺刻距	熱膨脹係數（20 °C 時）	供應長度	讀頭相容性
RSLM20/RSLE20/RSLC20	±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m	20 µm	10.1 ±0.2 µm/m/°C	最長達 5 m	VIONiC

精細型不鏽鋼部分弧線光學尺

光學尺名稱

精度

光學尺刻距

熱膨脹係數

供應長度

讀頭相容性

RKLC-S、RKLR-S

20 μm：±5 μm/m

40 μm：±15 μm/m

20 µm/40 µm

以端蓋固定光學尺尾端時，能符合基板材質

長達 20 m（可依要求大於 20 m）

VIONiC

不鏽鋼環

光學尺名稱	刻度精度（視環的直徑而定）	光學尺刻距	熱膨脹係數（20 °C 時）	環直徑	讀頭相容性
RESM20/REST20	±3.97 to ±0.38 弧秒	20 µm	15.5 ±0.5 µm/m/°C	52 至 550 mm	VIONiC

超高精度不鏽鋼環

光學尺名稱

安裝精度（視環的直徑而定）

光學尺刻距

熱膨脹係數（20 °C 時）

環直徑

讀頭相容性

REXM20/REXT20

（≥100 mm 直徑）±1 弧秒
（75 mm 直徑）±1.5 弧秒
（≤57 mm 直徑）±2 弧秒

20 µm

15.5 ±0.5 µm/m/°C

52 至 417 mm