VIONiC™ 光學尺系列
VIONiC 光學尺系列是 Renishaw 最高效的增量式光學尺。透過優異的量測性能、高速度和高可靠性,可提供直接數位位置回饋。VIONiC 讀頭整合了 Renishaw 經市場認可的過濾光學鏡組與進階細分技術。因此,可提供超低細分誤差 (SDE)、絕佳抗汙能力,且能無須使用額外轉接器或獨立介面。
VIONiC 讀頭相容於多種線性、部分弧線和旋轉光學尺,從低膨脹係數的 ZeroMet 到高精度的 REXM 環皆適用。這也使得這項多功能產品相當適用於量測要求嚴苛的多種應用方式。
由於設計中已採用直覺式自動校正模式,因此 VIONiC 讀頭易於安裝。選購的進階診斷工具 ADTi-100 可享有安裝過程的即時光學尺資料回饋或現場診斷。
新功能!
VIONiC 光學尺現在可適用於解析度低至 2.5 nm 且強化 SDE 的產品。
主要特色
速度
時脈輸出選項 (MHz) | 最高速度 (m/s) | 最小邊緣區隔* (ns) | |||||||||||
D (5 μm) | X (1 μm) | Z (0.5 μm) | W (0.2 μm) | Y (0.1 μm) | H (50 nm) | M (40 nm) | P (25 nm) | I (20 nm) | O (10 nm) | Q (5 nm) | R (2.5 nm) | ||
50 | 12 | 12 | 12 | 7.25 | 3.63 | 1.81 | 1.45 | 0.906 | 0.725 | 0.363 | 0.181 | 0.091 | 25.3 |
40 | 12 | 12 | 12 | 5.80 | 2.90 | 1.45 | 1.16 | 0.725 | 0.580 | 0.290 | 0.145 | 0.073 | 31.8 |
25 | 12 | 12 | 9.06 | 3.63 | 1.81 | 0.906 | 0.725 | 0.453 | 0.363 | 0.181 | 0.091 | 0.045 | 51.2 |
20 | 12 | 12 | 8.06 | 3.22 | 1.61 | 0.806 | 0.645 | 0.403 | 0.322 | 0.161 | 0.081 | 0.040 | 57.7 |
12 | 12 | 10.36 | 5.18 | 2.07 | 1.04 | 0.518 | 0.414 | 0.259 | 0.207 | 0.104 | 0.052 | 0.026 | 90.2 |
10 | 12 | 8.53 | 4.27 | 1.71 | 0.850 | 0.427 | 0.341 | 0.213 | 0.171 | 0.085 | 0.043 | 0.021 | 110 |
08 | 12 | 6.91 | 3.45 | 1.38 | 0.690 | 0.345 | 0.276 | 0.173 | 0.138 | 0.069 | 0.035 | 0.017 | 136 |
06 | 12 | 5.37 | 2.69 | 1.07 | 0.540 | 0.269 | 0.215 | 0.134 | 0.107 | 0.054 | 0.027 | 0.013 | 175 |
04 | 12 | 3.63 | 1.81 | 0.730 | 0.360 | 0.181 | 0.145 | 0.091 | 0.073 | 0.036 | 0.018 | 0.009 | 259 |
01 | 4.53 | 0.910 | 0.450 | 0.180 | 0.090 | 0.045 | 0.036 | 0.023 | 0.018 | 0.009 | 0.005 | 0.002 | 1038 |
* 用於具有 1 公尺纜線的讀頭。
超低細分誤差 (SDE)
細分誤差 – 10 個誤差週期

X 軸:讀頭位置 (mm)
Y 軸:誤差 (nm)
光學尺選項
- 磁性尺用於須取得直線位置資訊的應用中,通常為 X、Y 及 Z 軸。
- 旋轉光學尺用來取得角度位置資訊及旋轉元件的運動控制。
- 部分弧線光學尺可環繞鼓、軸或圓弧,以量測旋轉的部分弧線。
不鏽鋼光學尺與選購的軌道
光學尺名稱 | 精度 | 光學尺刻距 | 熱膨脹係數(20 °C 時) | 供應長度 | 讀頭相容性 |
RTLC20 與選購的 FASTRACK™ | ±5 µm/m | 20 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 長達 10 m(可依要求大於 10 m) | VIONiC |
精細型不鏽鋼捲尺
光學尺名稱 | 精度 | 光學尺刻距 | 熱膨脹係數 | 供應長度 | 讀頭相容性 |
RKLC20-S ![]() | ±5 μm/m | 20 µm | 以端蓋固定光學尺尾端時,能符合基板材質 | 長達 20 m(可依要求大於 20 m) |
ZeroMet™ 光學尺
光學尺名稱 | 精度 | 光學尺刻距 | 熱膨脹係數(20 °C 時) | 供應長度 | 讀頭相容性 |
RELM20/RELE20 ![]() | ±1 µm 用於最多 1 m,則 ±1 µm/m | 20 µm | 0.75 ±0.35 µm/m/°C | 最長達 1.5 m | VIONiC |
不鏽鋼光學尺
光學尺名稱 | 精度 | 光學尺刻距 | 熱膨脹係數(20 °C 時) | 供應長度 | 讀頭相容性 |
RSLM20/RSLE20/RSLC20 ![]() | ±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m | 20 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 最長達 5 m |
精細型不鏽鋼部分弧線光學尺
光學尺名稱 | 精度 | 光學尺刻距 | 熱膨脹係數 | 供應長度 | 讀頭相容性 |
RKLC-S、RKLR-S ![]() | 20 μm:±5 μm/m 40 μm:±15 μm/m | 20 µm/40 µm | 以端蓋固定光學尺尾端時,能符合基板材質 | 長達 20 m(可依要求大於 20 m) |
不鏽鋼環
光學尺名稱 | 刻度精度(視環的直徑而定) | 光學尺刻距 | 熱膨脹係數(20 °C 時) | 環直徑 | 讀頭相容性 |
RESM20/REST20 ![]() | ±3.97 to ±0.38 弧秒 | 20 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52 至 550 mm | VIONiC |
超高精度不鏽鋼環
光學尺名稱 | 安裝精度(視環的直徑而定) | 光學尺刻距 | 熱膨脹係數(20 °C 時) | 環直徑 | 讀頭相容性 |
REXM20/REXT20 ![]() | (≥100 mm 直徑)±1 弧秒 (75 mm 直徑)±1.5 弧秒 (≤57 mm 直徑)±2 弧秒 | 20 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52 至 417 mm | VIONiC |
選配的進階診斷工具 ADTi-100

VIONiC 光學尺系統能相容於進階診斷工具 ADTi-100 和 ADT View 軟體。這些工具能提供全方位即時光學尺資料回饋,有利於執行更加艱困的安裝與診斷作業。直覺式軟體介面可用於下列操作:
- 遠端校準
- 全軸長訊號最佳化
- 讀頭刻線距離指示
- 限制與參考原點指示
- 光學尺位置的數位讀數(相對於光學尺)
- 監控時速表
- 匯出與儲存資料