個案研究： Renishaw 光學尺：現代精密測控的關鍵 (mp4)

Renishaw 高性能光學尺系統在超精密運動平台上的應用 北京華卓精科科技股份有限公司，主要聚焦晶片製造廠及晶片裝備製造商，提供整機裝備、核心子系統、關鍵零部件和定製服務。其中超精密運動平台採用多種 Renishaw 光學尺系統，包括高性能的 TONiC 增量式系列， 以及雷射干涉儀進行品質管控