線性(反向反射鏡)系統

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RLD retroreflector, single axis application RLE 線性系統包括一個 RLU 雷射裝置以及與反向反射鏡標靶光學鏡組配用的(通常為)RLD10 檢測頭。 雷射裝置的選擇很大程度上取決於操作環境,RLU20 特別適合在真空和可控環境下應用。 RLU10 雷射裝置在 RLE10 系統內使用,RLU20 雷射裝置在 RLE20 系統內使用。

提供適合 0 度或 90 度光束輸出方向的檢測頭。

線性量測系統還可使用平面鏡標靶光學鏡組的檢測頭,不但增加了輸出解析度,並且縮短軸線長度至 1 米。

規格

資料格式 數位式 RS422 方波
類比式 1 Vpp 正弦/餘弦
解析度 數位式 — 使用者可選擇,最高可達 20 奈米(採用干涉儀標靶光學鏡組)
類比式 — 亞奈米,透過外置插補(例如,RPI20 平行介面)實現
最高速度 2 米/秒(使用反向反射鏡標靶光學鏡組)
雷射類型 HeNe(氦/氖),常溫常壓下波長 632.8 nm,II 級
雷射頻率穩定性 任意一小時期間 ±50 ppb (RLU10)
任意一小時期間 ±2 ppb (RLU20)
雷射壽命 > 50,000 小時
最大軸線長度 4 米(使用反向反射鏡標靶光學鏡組)

對於非真空應用,為了維持變動環境條件下的精度,需要某種形式的折射率補償。 Renishaw 提供 RCU10 即時方波補償系統,用於對環境變化進行補償。

透過將 RPI20 平行介面整合到 RLE 系統(平面鏡配置)中,可使解析度達到 38.6 皮米。 若採用數字輸出來提高解析度,Renishaw 內插器 REE 系列可提供高達 395 奈米的解析度(平面鏡配置)。 該介面可接收差分類比 1 Vpp 正弦/餘弦信號並提供平行格式輸出。 有關 RCU10 補償系統、RPI20、REE  以及與 RLE 系統配合使用的其他輔助設備之相關資訊,請參閱附件

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