inLux™ SEM 拉曼介面
適合現場 SEM 拉曼分析的通用解決方案
創新的 inLux™ SEM 拉曼介面將高品質拉曼功能導入 掃描電子顯微鏡 (SEM) 室之中。現在您可收集拉曼光譜產生 2D 及 3D 影像，並在 SEM 同步成像。樣品可在 SEM 成像與拉曼資料收集模式之間維持靜態，讓您在比較拉曼影像與 SEM 影像時，能夠對精準共位充滿信心。
inLux 介面提供一系列全方位的拉曼功能。您可由單點或多點收集光譜，或產生 2D 及 3D 的共軛焦拉曼影像。inLux 介面以完整功能作為標準配備因應各種工作，協助您在每個軸分析大於 0.5 mm 的體積。其中具備完全編碼的位置控制功能，最小可達 50 nm，以確保精確的拉曼成像。
主要優點
- 資訊豐富 - 拉曼、光致發光 (PL) 及光譜陰極發光 (CL) 分析可同步執行，並與 SEM 成像共位。
- 通用 - inLux 介面可安裝於不同製造商的各種 SEM，配合各種不同的 SEM 室尺寸，無需對 SEM 進行任何修改。
- 非侵入性 - inLux 測頭只要按一下就可完全收回，確保測頭未使用時不會干擾其他 SEM 功能或工作流程。
- 判定分佈 - 可產生共軛焦拉曼影像作為標準，輕鬆測量樣品異質性。
- 樣品檢視 - 廣大區域的光學成像及剪輯，協助您讓樣品視覺化，並鎖定關注區域。
- 可配置 - 最多提供兩種不同的雷射激磁波長，外加選購的 CL 模組。
- 自動化 - 只要按一下就能切換雷射波長，針對困難樣品進行拉曼分析。
inLux 介面應用
識別污染物
拉曼光譜是非接觸式的非破壞性技術，可提供高度明確的化學資訊，是識別污染物的理想選擇。拉曼光譜分析碳及有機污染物的能力特別強大，元素分析則難以區分這類污染物。SEM 可用於定位及研究小型污染物粒子的形態，克服光學顯微鏡無法解析這類粒子的問題。接著就可以直接鎖定這類粒子，使用 inLux 介面進行拉曼分析，無需移動樣品。
材料分析
許多材料的創新屬性都源自其尺寸、形狀或厚度。例如對石墨烯、奈米柱及奈米管而言，掃描電子顯微鏡的高放大倍率扮演關鍵角色，透過視覺化方式具體呈現樣品。拉曼分析除了能夠揭露材料的化學及結構性質，也能提供物理屬性資訊。inLux 介面可產生拉曼影像，顯示結晶度、應變及電子屬性，並與 SEM 提供的屬性建立關聯。
連接不同的 Renishaw 拉曼系統
inLux 介面可搭配使用 Renishaw 研究級的拉曼光譜儀及軟體，提供全方位的處理及分析功能，同時具備直覺易用等特色。從工業污染識別到學術研究，inLux 介面可協助您的 SEM 發揮最高效益。
Virsa™ 拉曼分析儀
如果需要專屬拉曼分析，inLux 介面可連接至 Virsa 拉曼分析儀。Virsa 分析儀提供體積精巧且符合成本效益的解決方案，協助進行 in-SEM 拉曼分析，以機架安裝式機身提供研究級拉曼系統的高靈敏度及光譜解析度。
深入瞭解 Virsa 分析儀
inVia™ 共軛焦拉曼顯微鏡
inLux 介面可連接至 inVia 共軛焦拉曼顯微鏡，以便將 in-SEM 分析功能加入全球最暢銷的研究級拉曼顯微鏡之中。inVia 顯微鏡提供領先世界的效能及靈敏度，配備可設定範圍的雷射激磁波長、偵測器及光柵，是分析任何拉曼活性材料的理想選擇。inVia 顯微鏡可單獨使用進行拉曼分析。這樣在不需要現場測量的情況下，SEM 就可讓其他使用者操作使用。
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下載 inLux SEM 拉曼介面
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Brochure: inLux™ scanning electron microscope Raman interface [en]
The innovative inLux SEM Raman interface brings high-quality Raman functionality to your SEM chamber. Now you can collect Raman spectra that can produce images in 2D and 3D whilst simultaneously imaging in SEM.
規格
| 參數 | 值 |
| 質量 | < 20 kg |
| 光纖纜線長度 | 4.6 m |
| 相容的拉曼光譜儀 | Renishaw inVia 共軛焦拉曼顯微鏡、Renishaw Virsa 分析儀 |
| 相容的 SEM 機型 | 相容於所有主要 SEM 供應商的機型 |
| SEM 連接埠需求 | 需要可用的 SEM 端或後連接埠 |
| SEM 效能 | inLux 介面不需要對 SEM 進行任何修改，未使用時可完全收回，不會干擾 SEM 或其他配件的效能 |
| 移動控制 | 觸控板、WiRE 軟體 |
| 接觸保護 | 接觸式感測器、使用絕對式光學尺監控安全工作範圍 |
| 雷射安全 | 雷射與室的真空狀態連鎖 |
| 拉曼映像/成像 | 以標準配備供應 |
| 光纖模組選擇 | 最多兩種不同的雷射激磁波長 + 選購的陰極發光模組 |
| 可用的雷射激磁波長 | 405 nm、532 nm、660 nm、785 nm（可要求其他波長） |
| 雷射切換 | 自動化、電動及軟體控制 |
| 雷射空間解析度 | < 1 µm @ 532 nm |
| 共軛焦效能 | < 6 µm @ 532 nm |
| 光譜解析度 | 請參閱光譜儀規格表 |
| 尺寸 | 寬 804 mm x 高 257 mm x 深 215 mm |