超高真空 (UHV) 光學尺
特性
- 由真空相容材質及黏著劑製成，具備低放氣率
- 經過受證實的無塵殘留氣體分析 (RGA)
- 烘烤溫度達 120 °C
- 非接觸式開放光學系統提供高速可靠的操作，不會發生磨擦及磨損問題
- 沒有不通風的空間
- 高精度線性及旋轉光學尺系列
多數工業製程都存在不利於成品的大量空氣或其他氣體，因此必須排空此環境的氣體，達到極嚴苛的剩餘壓力等級。由於這些程序包含運動控制，所以必須使用真空相容編碼器系統。
Renishaw 所有超高真空 (UHV) 相容編碼器系列產品都設計用於各種科學、半導體與其他真空壓力達 10-10 Torr 的先進工業應用。操作的基本原理與我們的同級標準大氣產品相同，但 UHV 版本的設計可消除不通風的空間，因此可特別以無塵、真空相容材料與黏著劑製造而成。用於 UHV 環境的產品適合性是由獨立專業測試機構檢驗，其中包括殘留氣體分析 (RGA) 頻譜測試 (可依要求提供)。
UHV 絕對式編碼器
RESOLUTE UHV 是首部用於 UHV 環境的真正絕對式光學尺，採用與其餘 RESOLUTE 系列產品相同的操作原理。這樣可讓編碼器具備精細刻距效能，以及各式各樣的序列通訊協定，並結合寬廣設定公差及內建安全功能。RESOLUTE 在開啟後會立即判斷絕對位置，排除未控制的移動並協助補完軸命令，無需傳回參考點或「喚醒」例行程序。RESOLUTE 具 1 nm 解析度、±40 nm SDE 和 <10 nm RMS 雜訊，亦可讓使用者大幅升級效能。
UHV 增量式編碼器
系列產品中的增量式讀頭包含動態訊號調節功能，其中包含自動增益控制 (AGC)，可在更長的機器運作壽命期間，提供穩固可靠的訊號，而自動偏置控制 (AOC) 則可加強訊號傳真度。AOC 與編碼器的低定位雜訊也有利於減少直接驅動系統上的速度漣波，因此有助減少真空內馬達的累積熱能。自黏式膠帶光學尺、不鏽鋼與 ZeroMet 光學尺等線性量測標準選項，可協助確保高精度。角度編碼器選項包含輕巧型 RESM，以及保證優於 ±1 弧秒安裝精度的超高精度 REXM 環。