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RLD10 反射鏡干涉儀

反射鏡干涉儀適用於長距離與高速應用。

RLD10 檢測頭容納干涉儀光學鏡組、一個獨特的多通道條紋探測系統、雷射光閘和內置準直輔助鏡。提供 0° 與 90° 版本的 RLD10 檢測頭。

特性和優點

  • 多軸解決方案-單軸與雙軸反射鏡系統為多軸應用提供理想的解決方案。
  • 長距離與高速-反射鏡干涉儀檢測頭可用於平面鏡干涉儀不適合使用的長距離或高速應用。
  • 敏感環境-亦可作為低功率版本使用,適合需要功率消耗低於標準 RLD10 所規定 < 2 W 的應用。

規格 

軸行程0 m 至 4 m
解析度(以 RLU 配置)

類比正交 = λ/2 (316 nm)
數位正交 = 20 nm
RPI20 解析度 = 77.2 pm

系統非線性誤差* (SDE)

*不含介面

<±5 nm(低於 100 mm/sec,>70% 訊號強度)
<±13 nm(在 2 m/sec,>50% 訊號強度時)
最高速度最高 2 m/sec

若軸長大於 4 m,請參閱我們支援最高軸承 60 m 的 HS20 雷射編碼器系統

非真空應用需要某種形式的折射率補償,以維持變動環境條件下的精度。Renishaw 提供 RCU10 即時方波補償系統,用於對環境變化進行補償。Renishaw 提供的反射鏡可能不適用於配合真空或接近真空之應用。

將 RPI20 平行介面整合至 RLE 系統(平面鏡配置),便可達成至 38.6 皮米的解析度。如需使用數位輸出加強解析度,Renishaw 內插器的 REE 系列可提供最高至 .395 nm 的解析度(平面鏡配置)。此介面接受差分類比 1 Vpp 正弦/餘弦信號,並提供平行格式輸出。如需更多配件相關資訊,請參閱 RCU10 補償系統雷射編碼器介面

產品資訊